[发明专利]一种硅环表面高精倾斜度的加工设备及其加工方法在审
申请号: | 202110926138.4 | 申请日: | 2021-08-12 |
公开(公告)号: | CN113370025A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 韩颖超;裴翔鹰;李长苏 | 申请(专利权)人: | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/06;B24B47/06 |
代理公司: | 杭州信与义专利代理有限公司 33450 | 代理人: | 马育妙 |
地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 倾斜度 加工 设备 及其 方法 | ||
1.一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,包括加工室(101)、放置室(102)以及储灰室(103),所述放置室(102)的一侧设置有储灰室(103),所述放置室(102)、储灰室(103)的顶部安装有加工室(101),其特征在于:
所述加工室(101)的内腔两端分别安装有第一放置架(109)、第二放置架(110),所述加工室(101)的内腔中部安装有用于夹持硅环的夹持机构(200)、用于调节打磨轴(308)的调节机构(300)以及打磨轴(308),所述夹持机构(200)、调节机构(300)位于第一放置架(109)、第二放置架(110)之间。
2.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述夹持机构(200)包括承重底座(201)、安装筒(202)、夹持爪(206)以及旋转体(209),所述承重底座(201)的顶部安装有安装筒(202),所述安装筒(202)的内腔设置有旋转体(209),所述旋转体(209)的顶部开设有安装槽(214),所述安装槽(214)的内腔中设置有连接臂(205),所述连接臂(205)的顶端安装有夹持爪(206),所述夹持爪(206)的两侧均开设有定位槽(207)。
3.根据权利要求2所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述安装筒(202)的一侧安装有第一打磨电机(204),所述旋转体(209)的外壁上安装有连接齿(211),所述连接齿(211)啮合连接驱动齿轮(212),所述驱动齿轮(212)套接在第一打磨电机(204)的输出轴上。
4.根据权利要求3所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述承重底座(201)的内腔底部转动安装有若干个调节气缸(208),若干个所述调节气缸(208)的活动杆均转动连接至安装筒(202)的底部。
5.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述调节机构(300)包括移动底座(301)、支撑立板(302),所述移动底座(301)的顶部一侧安装有支撑立板(302),所述支撑立板(302)的一侧上设置有安装座(306),所述安装座(306)的顶部安装有第二打磨电机(307),所述打磨轴(308)安装在安装座(306)的底部,所述打磨轴(308)的顶端连接至第二打磨电机(307)的输出轴上。
6.根据权利要求5所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述支撑立板(302)的一侧顶部安装有升降电机(309),所述支撑立板(302)的内腔顶部、底部均转动安装有传动辊(311),其中一个传动辊(311)的一端与升降电机(309)的输出轴连接,两个所述传动辊(311)通过传送带(310)连接,所述传送带(310)上安装有夹持板(312),所述夹持板(312)连接至安装座(306)的一端上。
7.根据权利要求5所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备,其特征在于,所述移动底座(301)滑动连接在轨道(303)上,所述轨道(303)的中间位置平行设置有齿形板(304),所述移动底座(301)的一端上安装有移动电机(313),所述移动底座(301)的底部中间位置转动安装有齿形辊(314),所述齿形辊(314)与齿形板(304)啮合连接,所述齿形辊(314)的一端连接至移动电机(313)的输出轴上。
8.一种如权利要求1所述的硅环表面高精倾斜度的加工设备的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:控制硅环表面高精倾斜度的加工设备中的若干个连接臂(205)相互远离或者相互靠近,之后将硅环放置于夹持爪(206)之间,从而通过夹持爪(206)的内圈定位槽(207)将硅环夹持;
步骤二:通过齿形辊(314)转动,从而带动移动底座(301)在轨道(303)上滑动,直至打磨轴(308)位于硅环的正上方;
步骤三:通过传动辊(311)转动,从而通过传送带(310)和夹持板(312)带动安装座(306)在滑轨(305)上滑动;
步骤四:按照硅环表面倾斜度加工的要求,使安装筒(202)倾斜;
步骤五:通过驱动齿轮(212)转动,从而带动旋转体转动,实现硅环转动,通过打磨轴(308)转动,通过移动电机(313)调节打磨轴(308)位置,使打磨轴(308)与硅环接触,转动的硅环与转动的打磨轴(308)相互摩擦,打磨形成倾斜面,完成硅环内圈打磨;
步骤六:通过夹持爪(206)的外圈定位槽(207)将硅环夹持,重复以上步骤,完成硅环外圈打磨,完成一面硅环表面倾斜度加工,将硅环翻面,重复上述步骤,在另一侧面打磨形成倾斜面,完成硅环加工。
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