[发明专利]一种提高普通金属掩模版张网位置精度的方法

说明书

本发明公开了一种提高普通金属掩模版张网位置精度的方法，属于显示面板制造装备领域。本发明的一种提高普通金属掩模版张网位置精度的方法，其在掩模网张网过程中，对掩模网的四边单边拉力F_p进行差异化设置，使掩模网单边棱角处的拉力F_pe小于掩模网对应单边中心处的拉力F_pc，并且对掩模网的棱角位置不再施加拉力，最大程度地减小了掩模网棱角区域的强大拉力，进而减少了掩模网焊接后的位置精度变化量，提高了掩模网在金属框上的焊接平整度；并且，由于掩模网棱角处的张网拉力减小，焊接后的掩模网张力对金属框产生的向内拉力较小，也进一步防止了金属框产生翘曲变形，大幅提高了CMM掩模版的制造精度。

技术领域

本发明涉及一种金属掩模版的张网焊接方法，更具体地说，涉及一种提高普通金属掩模版张网位置精度的方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED)是显示领域的新技术，其具有功耗低、响应速度快、视角宽、分辨率高等优点，具有广泛的应用范围。

OLED面板在生产过程中，其核心工艺之一是真空蒸镀工艺，金属掩膜版是实现该工艺的关键零部件，其精度直接决定了OLED面板的品质。随着全球OLED面板产能与产量不断增长，市场对金属掩膜版的需求也不断上升。金属掩膜版主要包括普通金属掩膜版(Common Metal Mask，缩写：CMM)与高精度精细金属掩膜版(Fine Metal Mask，缩写：FMM)两大类，其中CMM主要用于大尺寸OLED面板生产领域，FMM主要用于中小尺寸OLED面板生产领域。

普通金属掩膜版(CMM)主要由金属框(Frame)和固定在金属框上的掩模网(Masksheet)组成，掩模网大多采用激光点焊固定在金属框上。普通金属掩膜版的掩模网面积较大，需要在掩模网四周施加一定张网拉力使掩模网平整定位后焊接在金属框上，这一过程叫做“张网”。如图1、图2和图3所示，在张网过程中，金属框101定位安装在张网焊接设备上，掩模网102设置在金属框101的上方，四周用夹持器103夹紧并提供向外的拉力(PullingForce)F_p，使掩模网102被张拉平整(如图2所示状态)，必要时，在掩模网102的四个角处也通过夹持器103夹紧进行张拉。如图4所示，在张网状态下，由于掩模网102是以上述的张拉状态被焊接在金属框101上的，在焊接完成并撤掉夹持器103的拉力F_p后，掩模网102会对金属框101产生内拉力F_f，这个内拉力会使金属框101产生微小的压缩变形，进而改变掩模网102在金属框101上的张网形态，使掩模网102发生扭曲，降低张网精度。如图1和图3所示，为了解决上述张网过程中金属框101发生变形而影响张网精度的问题，需要在张网过程中对金属框101的四周位置通过推压机构104施加对称的反向作用力(Counter Force)F_c，以抵消掩模网102对金属框101产生的内拉力F_f。

如图2所示，掩模网102为设有若干开口的金属薄板，其外周需要通过较为密集的夹持器103施加拉力F_p，在掩模网102的四角处，夹持器103的拉力F_p形成合力作用在掩模网102的四个角的位置，使掩模网102的四个角的位置受力更大，而推压机构104对金属框101四角位置的反向作用力F_c较小，因此难以抵消掩模网102对金属框101四角处产生的内拉力。并且，现有张网工艺对掩模网102的单边多点拉力F_p是相同的，这种情况下需要对掩模网102增加更多的外围张力来使掩模网102平整，在掩模网102的四个角处的内拉力较大，实际检测发现，在掩模网102焊接后并去除拉力F_p后，掩模网102的外围变形严重，尤其是在金属框101四角位置存在翘曲变形，进而导致了掩模网102的扭曲，严重影响了掩模网102的位置精度(CPA)。

为此，有必要寻求一种可行的技术方案来解决上述技术问题，以提高普通金属掩膜版(CMM)的张网精度。

发明内容

1.发明要解决的技术问题