[发明专利]一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法

权利要求书

1.一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，将柔性基体进行表面清洗，得到清洗后的柔性基体；

步骤2，在柔性基体的表面通过辊压导电聚合物膜，得到导电聚合物的复合柔性基体；

步骤3，将导电聚合物的复合柔性基体置于磁控溅射设备中，使用镓化钒晶体和硒化镓晶体作为双靶材，通过真空磁控溅射镀膜技术，得到柔性磁控溅射金属纳米复合材料；

所述导电聚合物膜的制备方法为：

a.称取多聚烟酸铬纳米颗粒加入至甲苯中，超声混合均匀，得到多聚烟酸铬溶液；其中，多聚烟酸铬纳米颗粒与甲苯的质量比为1:5～7；

b.将苯胺加入至多聚烟酸铬溶液中，升温至45～55℃，搅拌处理1～3h后，得到苯胺/多聚烟酸铬溶液；其中，苯胺与多聚烟酸铬溶液的质量比为1:6～8；

c.向苯胺/多聚烟酸铬溶液中加入过硫酸铵粉末，使用盐酸调节pH为1～2，并置于冰水浴条件下搅拌反应5～10h，过滤并将收取的固体产物使用无水乙醇冲洗至少三次，然后置于干燥箱内干燥处理，得到聚苯胺/多聚烟酸铬包覆物；其中，过硫酸铵粉末与苯胺/多聚烟酸铬溶液中的苯胺的质量比为2:1～1.05；

d.将聚苯胺/多聚烟酸铬包覆物置于去离子水中混合均匀，形成混合液体，然后将混合液体通过真空抽滤法将固体均匀地吸附在滤纸上，待干燥成膜后将滤纸剥离开后，得到导电聚合物膜；其中，聚苯胺/多聚烟酸铬与去离子水的质量比为1:3～6。

2.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述柔性基体为PET基体、PI基体、PE基体、TPU基体中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述表面清洗是将柔性基体依次置于丙酮、无水乙醇和去离子水中分别超声处理0.1～0.3h，然后使用等离子清洗剂进行处理0.1～0.2h。

4.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2中，所述柔性基体在辊压前置于60～80℃下预处理0.2～0.4h。

5.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2中，所述导电聚合物膜的厚度为30～100nm。

6.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，所述多聚烟酸铬纳米颗粒的粒径为10～20nm。

7.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述磁控溅射的参数为：双靶材与柔性基体的距离均为100～150mm，本底真空度为1.5～3×10-3Pa，工作压强为0.25～0.5Pa，工作气流为80～120sccm的氩气，双靶材的溅射功率均为150～200W，溅射时间均为0.3～0.5h。

8.根据权利要求1所述的一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述磁控溅射厚度为50～200nm，所述柔性磁控溅射金属纳米复合材料的厚度为1～5μm。