[发明专利]粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法

说明书

实施方式涉及一种粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法。实施方式的粒子检测器包含多个第1线及多个第2线。多个第1线包含超导材料，在第1方向上延伸，在与所述第1方向不同的第2方向上排列。多个第2线在所述第2方向上延伸，在所述第1方向上排列。另外，所述多个第1线与所述多个第2线中间介入有绝缘膜而在与所述第1方向及所述第2方向不同的第3方向上相互重叠。

[相关申请]

本申请享有在2020年9月1日提出申请的日本专利申请号2020-147065的优先权利益，该日本专利申请的全部内容引用于本申请中。

技术领域

本文叙述的实施方式涉及一种粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法。

背景技术

作为能够以原子级空间解析度及高检测感度对合金等的晶界或半导体等的薄膜积层膜的界面等进行分析的装置，已知有三维原子探针。

发明内容

本发明的一实施方式提供能够高精度地检测粒子的粒子检测器、粒子检测装置及粒子检测方法。

根据一实施方式，提供一种粒子检测器。该粒子检测器具备多个超导体线、多个常导体线及绝缘膜。多个超导体线由超导体形成，在第1方向上延伸，在与所述第1方向不同的第2方向上排列。多个常导体线由常导体形成，在所述第2方向上延伸，在所述第1方向上排列。绝缘膜介入于所述多个超导体线与所述多个常导体线的交叉点。

附图说明

图1是示意性地表示可利用实施方式的粒子检测器的三维原子探针装置的图。

图2是示意性地表示本实施方式的粒子检测器的局部立体图。

图3A是实施方式的粒子检测器的超导线与常导线的接合部的沿着其对角线的剖视图。

图3B是超导线与常导线的变化例的接合部的沿着其对角线的剖视图。

图4是示意性地表示图1的三维原子探针装置中可利用的冷却器的图。

图5是示意性地表示本实施方式的粒子检测器和与之连接的检测器驱动部的图。

图6是说明粒子的检测原理的说明图。

图7是变化例1的粒子检测器的沿着常导线延伸方向的剖视图。

图8是示意性地表示变化例2中使用的检测器驱动部的图。

图9A是表示各常导线的脉冲电压的时间变化的曲线图。

图9B是对常导线的位置绘制各常导线的脉冲电压所得的曲线图。

图10是示意性地表示变化例3的粒子检测器的局部立体图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明非限定的例示实施方式进行说明。随附的所有图中，对相同或对应的部件或零件标注相同或对应的参照符号，省略重复的说明。另外，附图不以表现部件或零件之间、或者各种层的厚度之间的相对比为目的，因此，具体的厚度或尺寸可由本领域技术人员对照以下的非限定实施方式来决定。

图1是示意性地表示可利用实施方式的粒子检测器的三维原子探针装置的图。如图1所示，三维原子探针装置1具有壳体2、高电压电源3、驱动脉冲电压电源4、二维粒子检测器5、检测器驱动部6、时间差测定部7及控制部8。

壳体2是对外部气密的容器，在此连接着扩散泵或涡轮分子泵等高真空排气装置(未图示)。由此，壳体2的内部可进行减压或维持为高真空。另外，壳体2内设有能够保持作为测定对象的试样S的试样保持部2H。进而，在壳体2可设置装载闭锁腔室、闸阀、搬送臂等，以用于试样S的搬入搬出。