[发明专利]一种硅片吸附盘

说明书

本发明公开了一种硅片吸附盘，属于半导体制造技术领域，包括盘体和密封部件，所述盘体的上表面形成有至少二个直径不同的环槽，所述密封部件呈环形，所述密封部件的下端滑动卡合在所述环槽内，所述密封部件的上端凸出于所述盘体的上表面，所述密封部件包括若干正向连接板和反向连接板，所述正向连接板和反向连接板沿密封部件的周向依次间隔相连形成均匀的褶皱，通过拉伸密封部件的褶皱能够改变所述密封部件的直径。本发明装置可以根据硅片的规格灵活改变吸附范围，从而适应不同大小硅片的需要，满足工艺需要。

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种硅片吸附盘。

背景技术

在光刻机承片台中，用于吸附固定硅片的装置称之为吸盘，吸盘又被定位且吸附在承片台的核心部件基座上表面，保证光刻过程中硅片能随工件台分系统的移动，按照预定的路线和速度到达正确的位置。由于吸盘的吸附范围大多数是不变的，因此在其用于吸附不同规格的硅片时，较大的硅片容易在边缘出现翘曲，从而影响硅片的质量。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种硅片吸附盘，可以根据硅片的规格灵活改变吸附范围，从而适应不同大小硅片的需要，满足工艺需要。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明一种硅片吸附盘，包括盘体和密封部件，所述盘体的上表面形成有至少二个直径不同的环槽，所述密封部件呈环形，所述密封部件的下端滑动卡合在所述环槽内，所述密封部件的上端凸出于所述盘体的上表面，所述密封部件包括若干正向连接板和反向连接板，所述正向连接板和反向连接板沿密封部件的周向依次间隔相连形成均匀的褶皱，通过拉伸密封部件的褶皱能够改变所述密封部件的直径。

进一步，所述环槽的侧壁上开设有滑槽，密封部件的下部固定有与所述滑槽配合的滑动嵌合部，所述滑动嵌合部与滑槽滑动配合且用于对密封部件的竖向进行限位。

进一步，所述滑动嵌合部包括滑轴，所述滑轴与正向连接板一一对应连接且所述滑轴的轴向与所述正向连接板垂直，或所述滑轴与所述反向连接板一一对应连接且所述滑轴的轴向与所述反向连接板垂直。

进一步，所述滑轴的两端分别配合有第一轴承和第二轴承。

进一步，所述密封部件采用弹性材料制成。

进一步，所述吸附盘还包括至少两组预紧部件，所述预紧部件沿密封部件的周向均布，所述预紧部件用于对密封部件的张紧程度进行调整。

进一步，所述预紧部件包括拉簧，所述拉簧的两端分别与相邻的两滑轴固定连接。

进一步，所述滑轴的外侧固定有用于与所述拉簧连接的安装板，所述安装板上开设有安装孔。

进一步，所述盘体包括底板以及固定在所述底板上的中心板、第一半圆内板、第二半圆内板、第一半圆外板和第二半圆外板，所述第一半圆内板和第二半圆内板组合形成内环板，所述内环板设置在所述中心板的外侧且与所述中心板之间相隔形成第一环槽，所述第一半圆外板和第二半圆外板组合形成外环板，所述外环板设置在所述内环板的外侧且与所述内环板之间相隔形成第二环槽。

进一步，所述第一半圆内板与第二半圆内板之间、所述第一半圆外板与第二半圆外板之间均设置有密封条。

本发明的有益效果在于：

本发明一种硅片吸附盘，密封部件的上下两端分别与硅片和盘体抵接，其中，密封部件包括若干正向连接板和反向连接板，所述正向连接板和反向连接板沿密封部件的周向依次间隔相连形成均匀的褶皱，可以实现灵活均匀的拉伸变换。通过拉伸密封部件的褶皱能够改变所述密封部件的直径，可以根据硅片的规格灵活改变吸附范围，从而适应不同大小硅片的需要，满足工艺需要。本发明申请中，通过设置褶皱代替直接材料进行拉伸，可以避免以为材料拉伸导致密封部件在高度上的变形，从而避免缝隙的产生，保证吸附盘的吸附能力。