[发明专利]显示面板以及显示面板的制作方法有效
申请号: | 202110935889.2 | 申请日: | 2021-08-16 |
公开(公告)号: | CN113823664B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 胡泽虎 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H10K59/122 | 分类号: | H10K59/122;H10K59/123;H10K59/131;H10K71/00;H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 官建红 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 以及 制作方法 | ||
本申请提供了一种显示面板以及显示面板的制作方法,包括:阵列基板,包括平坦化层,所述平坦化层上设置有凹槽;像素定义层,设置于所述平坦化层上并填充于所述凹槽内,所述像素定义层上设置有像素开口;阳极,设置于所述平坦化层和所述像素定义层之间,所述阳极的端部置于所述凹槽内,所述阳极中部显露于所述像素开口。本申请通过在阵列基板的平坦化层上制作凹槽,使位于平坦化层和像素定义层之间的阳极的端部刻蚀后落于凹槽内,从而使像素定义层覆盖阳极端部,在不改变像素定义层相对阳极高度的前提下,提高像素定义层对阳极端部覆盖的高度,防止阳极刻蚀时裸露,从而达到更好的保护效果。
技术领域
本申请涉及显示器件技术领域,尤其涉及一种显示面板以及显示面板的制作方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示屏具有自发光、超轻薄、响应速度快、视角宽、功耗低等优点,被认为是最具有潜力的显示器件。
在OLED器件中,阳极一般由金属制成,例如采用ITO(氧化铟锡)/Ag(银)/ITO(氧化铟锡),IZO(铟锌氧化物)/Ag(银)/IZO(氧化铟锡)等是较为常见的复合结构。随着工艺的优化,阳极的刻蚀工艺由三步刻蚀,进化到两步刻蚀,最后到一步刻蚀,同时三步刻蚀工程制造上节约了成本提高了效率。
但同时有其自己缺陷存在,由于工艺需求下层ITO膜层无刻蚀残留,因此需要延长刻蚀时间,由此导致Ag膜层刻蚀量远大于ITO膜层刻蚀量。Ag膜层后退严重,复合膜层中处于中间位置的Ag膜层会后退,被刻蚀基板部分位置的上层ITO膜层会失去支持而塌陷,对Ag膜层的侧壁起到包裹的作用,影响溶液对Ag膜层的进一步作用,而部分位置上层ITO无塌陷,Ag膜层裸露并被进一步腐蚀,导致其台阶边缘会有Ag裸露出来,裸漏的Ag会在空气中氧化生长,形成较大凸起,在做像素定义层(Pixel definition layer,PDL)时,如果像素定义层较薄,不能覆Ag的氧化生长物,最终会导致成阴阳极短路,结果宏观表现为发光亮度不均匀,影响有机发光器件的显示效果。
发明内容
本申请提供一种显示面板以及显示面板的制作方法,以解决阳极金属容易裸露的问题。
一方面,本申请提供一种显示基板,包括:
阵列基板,包括平坦化层,所述平坦化层上设置有凹槽;
像素定义层,设置于所述平坦化层上并填充于所述凹槽内,所述像素定义层上设置有像素开口;
阳极,设置于所述平坦化层和所述像素定义层之间,所述阳极的端部置于所述凹槽内,所述阳极中部显露于所述像素开口。
在本申请一种可能实现方式中,所述阳极与所述像素开口的侧壁之间设有一间隙。
在本申请一种可能实现方式中,所述凹槽包括间隔设置的第一槽体和第二槽体;
所述阳极的一端位于所述第一槽体内,另一端位于所述第二槽体内。
在本申请一种可能实现方式中,所述阵列基板包括依次层叠设置的衬底、有源层、栅极层、源漏极层,所述平坦化层设置于所述源漏极层上,所述源漏极层包括源极和漏极;
所述平坦化层上设有通孔,所述通孔与所述第二槽体连通,所述源极部分显露于所述通孔,所述阳极通过所述通孔与所述源极接触。
在本申请一种可能实现方式中,所述显示面板还包括:
过渡层,设置于所述漏极和所述阳极之间,所述过渡层填充于所述通孔内。
在本申请一种可能的实现方式中,所述凹槽的高度范围为0.5μm-1μm,所述高度为沿着所述凹槽的底壁到所述凹槽开口端面之间的距离。
在本申请一种可能的实现方式中,所述像素定义层包括:
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