[发明专利]一种硅片切割机用的切削液去水方法及装置

权利要求书

1.一种硅片切割机用的切削液去水方法，其特征在于：所述切削液去水方法包括以下步骤：

S1：切削液的收集初过滤处理，将切削液中的固体物体过滤掉，过滤固体物过程中，在过滤网的上方喷淋清水，将固体物表面粘附的切削液清洁掉；

S2：切削液的二次过滤，此次使用过滤网的孔径小于S1中的所使用的过滤网的孔径，同时在过滤网上喷淋清水，再次将切削液中颗粒物表面的切削液清洁掉；

S3：将二次过滤的切削液通入至收集桶内，并通过水泵将切削液打入雾化喷头(9)内，使得切削液以雾化状喷淋在干燥筒(1)内，切削液中的水分以蒸汽形式排离干燥筒(1)。

2.根据权利要求1所述一种硅片切割机用的切削液去水方法，其特征在于：S2中所述二次过滤所使用过滤网的孔径小于雾化喷头(9)的孔眼直径。

3.根据权利要求2所述一种硅片切割机用的切削液去水方法，其特征在于：S3中的干燥筒(1)下方设置收集箱(14)，集中收集去掉水分的切削液。

4.一种硅片切割机用的切削液去水装置，该硅片切割机用的切削液去水装置适应于权利要求1-3中任一硅片切割机用的切削液去水方法，其特征在于：S3中所述的干燥筒(1)包括壳体(2)、前端盖(3)、后端盖(4)和刮取单元；所述壳体(2)成圆筒状，壳体(2)的上方设有排气管(5)，排气管(5)连通与外界抽气泵，壳体(2)内底部开设出料口(6)，壳体(2)下半部内部设有加热电阻丝(7)，壳体(2)的一端螺栓连接后端盖(4)，后端盖(4)贯穿有进液管(8)，进液管(8)的一端通过泵体连通切削液原液桶内，进液管(8)的另一端连接有雾化喷头(9)，雾化喷头(9)通过进液管(8)悬空于壳体(2)内部，且雾化喷头(9)的喷水方向指向壳体(2)内部下半部，雾化喷头(9)的前端为前端盖(3)，前端盖(3)通过螺栓连接在壳体(2)的前端，前端盖(3)上设有刮取单元；所述刮取单元用于刮蹭掉壳体(2)内侧壁上沉积的切削液干燥物。

5.根据权利要求4所述一种硅片切割机用的切削液去水装置，其特征在于：所述刮取单元包括电机(10)、连接板(11)和刮蹭板(12)；所述电机(10)固接于前端盖(3)上，电机(10)的输出端贯穿前端盖(3)并固接圆盘状的连接板(11)，连接板(11)上固接多个刮蹭板(12)且每个刮蹭板(12)垂直于连接板(11)，刮蹭板(12)的边缘贴附与壳体(2)的内侧壁。

6.根据权利要求4所述一种硅片切割机用的切削液去水装置，其特征在于：所述壳体(2)通过支撑架(13)架设在地面上，壳体(2)的下方设有收集箱(14)，收集箱(14)的端口正对于出料口(6)。

7.根据权利要求4所述一种硅片切割机用的切削液去水装置，其特征在于：所述前端盖(3)上开设多个进风孔(15)，前端盖(3)上设有罩体(16)，罩体(16)螺栓固接前端盖(3)，罩体(16)间隙配合与电机(10)的外壁，罩体(16)的前端部为开放端。

8.根据权利要求4所述一种硅片切割机用的切削液去水装置，其特征在于：所述雾化喷头(9)喷液方向避开出料口(6)设置。