[发明专利]一种基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法及系统

权利要求书

1.一种基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法，其特征在于，包括：

在工艺设计过程开始之前，获取故障预判请求指令，根据所述故障预判请求指令调用工艺故障数据库中预存的工艺过程故障表单；

在工艺设计过程中，根据所述工艺过程故障表单对工艺设计过程中出现的故障进行查询；

在工艺设计过程结束之后，对工艺设计过程中出现的故障进行统计，生成工序PPM值和产品PPM值；

根据所述工序PPM值和所述产品PPM值对工艺设计过程的可靠性进行分析。

2.根据权利要求1所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法，其特征在于，所述工艺故障数据库预存的工艺过程故障表单的表头字段包括：工序名称、工序检验特性、故障模式、故障影响、故障原因、原因分类、严酷度、检测度、发生度、风险优先数、事前预防措施、检验措施和事后改进措施。

3.根据权利要求2所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法，其特征在于，还包括：

在工艺设计过程中，当所述工艺过程故障表单中未查询到工艺设计过程中出现的未知故障时，依据所述未知故障的工序名称、检验特性和故障模式在所述工艺故障数据库中进行关联查询，如果未查询到关联的故障时，将所述未知故障作为新故障，按照所述表头字段的格式存入所述工艺故障数据库的工艺过程故障表单中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法，其特征在于，根据以下公式计算所述工序PPM值：

N_G＝C×n

其中，PPM_w表示工序PPM值，D_G表示工序检验特性检出的缺陷总数，P_i表示工序检验特性i检出的缺陷数，i＝1,2,..,n，n为工序检验特性的数量，K_i表示工序检验特性i对应的严酷度加权系数，N_G表示工序检验特性总数，C表示交检产品数。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析方法，其特征在于，根据以下公式计算所述产品PPM值：

其中，PPM_p表示产品PPM值，D_j表示第j个工序所有检验特性检出的缺陷数，N_j表示第j个工序检验特性总数，j＝1,2,..,C，C为交检产品数。

6.一种基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析系统，其特征在于，包括：

获取单元，用于在工艺设计过程开始之前，获取故障预判请求指令，根据所述故障预判请求指令调用工艺故障数据库中预存的工艺过程故障表单；

查询单元，用于在工艺设计过程中，根据所述工艺过程故障表单对工艺设计过程中出现的故障进行查询；

统计单元，用于在工艺设计过程结束之后，对工艺设计过程中出现的故障进行统计，生成工序PPM值和产品PPM值；

分析单元，用于根据所述工序PPM值和所述产品PPM值对工艺设计过程的可靠性进行分析。

7.根据权利要求6所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析系统，其特征在于，所述工艺故障数据库预存的工艺过程故障表单的表头字段包括：工序名称、工序检验特性、故障模式、故障影响、故障原因、原因分类、严酷度、检测度、发生度、风险优先数、事前预防措施、检验措施和事后改进措施。

8.根据权利要求7所述的基于工艺故障数据库的工艺可靠性分析系统，其特征在于，所述查询单元还用于在工艺设计过程中，当所述工艺过程故障表单中未查询到工艺设计过程中出现的未知故障时，依据所述未知故障的工序名称、检验特性和故障模式在所述工艺故障数据库中进行关联查询，如果未查询到关联的故障时，将所述未知故障作为新故障，按照所述表头字段的格式存入所述工艺故障数据库的工艺过程故障表单中。