[发明专利]测量装置、电平变换器电路、电荷泵级和电荷泵及其方法

权利要求书

1.一种测量装置（2200a，2300，2500，3900），其具有：

• 微机械传感器（3600a，3600b，3600c），所述微机械传感器（3600a，3600b，3600c）具有电容；

• 桥式电路（2202），所述桥式电路（2202）具有多个电容，所述多个电容中的至少一个电容是所述微机械传感器（3600a，3600b，3600c）的电容；

• 放大器（2204），所述放大器（2204）在输入侧与所述桥式电路（2202）的输出耦合，并且所述放大器（2204）具有工作电压；

• 混合电压源，所述混合电压源设立为，将如下电的混合电压耦合输入到所述桥式电路（2202）中：所述电的混合电压的峰谷值大于所述工作电压的峰谷值。

2.根据权利要求1所述的测量装置（2200a，2300，2500，3900），其中，所述混合电压源具有电荷泵，所述电荷泵设立为提供直流电压的电势。

3.根据权利要求2所述的测量装置（2200a，2300，2500，3900），

其中，所述混合电压源具有斩波器，所述斩波器具有至少一个第一电荷存储器和至少一个开关结构；

其中，所述开关结构设立为，将所述第一电荷存储器轮流地与所述直流电压和所述桥式电路耦合，用于将电的混合电压耦合输入到所述桥式电路中。

4.一种芯片，具有根据权利要求1至3之一所述的测量装置（2200a，2300，2500，3900）。

5.一种用于使微机械传感器（3600a，3600b，3600c）运行的方法，所述方法具有：

• 将电的混合电压耦合输入到桥式电路（2202）中，所述桥式电路（2202）具有多个电容，所述多个电容中的至少一个电容表示所述微机械传感器（3600a，3600b，3600c）；

• 借助放大器（2204），检测所述微机械传感器（3600a，3600b，3600c）的信号，其中所述放大器（2204）借助如下电压来运行：所述电压小于所述电的混合电压的峰谷值。