[发明专利]用于激光切割多层材料的光学系统和方法在审

专利信息
申请号: 202110943188.3 申请日: 2021-08-17
公开(公告)号: CN113634878A 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 洪觉慧;朱进东;魏少东;陆晓绵;侯效彬 申请(专利权)人: 南京魔迪多维数码科技有限公司
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/362;B23K26/402;B23K26/70
代理公司: 南京中擎科智知识产权代理事务所(普通合伙) 32549 代理人: 洪黎
地址: 210000 江苏省南京市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 激光 切割 多层 材料 光学系统 方法
【权利要求书】:

1.一种激光切割多层材料的方法,所述多层材料包括依次层叠的堆叠材料或者嵌入式堆叠材料,其特征在于,所述方法包括:

通过光路系统将激光器发出的光束分束后整形,穿过同一激光切割头;

通过激光切割头将至少两种不同的激光束分别聚焦在多层材料上,使得每一种激光束暴露在多层材料的不同的材料层上。

2.根据权利要求1所述的激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述方法还包括:利用所述至少两种不同的激光束和所述多层材料作相对运动,以使所述至少两种不同的激光束分别作用于所述多层材料的不同的材料层并在所述多层材料的不同的材料层内形成刻蚀路径。

3.根据权利要求2所述的激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述方法还包括:以所述刻蚀路径为分离路径将所述多层材料进行分离。

4.根据权利要求3的激光切割多层材料的方法,其特征在于,将所述多层材料进行分离的方法是:机械分离和/或激光分离。

5.根据权利要求4激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述机械分离时利用材质内部热应力的作用进行的分离方式。

6.根据权利要求1所述的激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述至少两种不同的激光束由独立的激光源发出。

7.根据权利要求1所述的激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述至少两种不同的激光束由一个激光源经激光器分离出多个分支,并通过阵列单独进行聚焦。

8.根据权利要求1所述的激光切割多层材料的方法,其特征在于,所述多层材料表面还可以设有薄膜层,用于捕获切割过程中产生的任何碎片,防止污染晶片的电路。

9.一种激光切割多层材料的系统,其特征在于,包括:用于出射激光束的激光器,用于校正光路的光学镜片和镜架以及激光切割头,所述激光束由激光束发出并经过光学镜片校正后,通过激光切割头暴露在多层材料的不同材料层上。

10.根据权利要求9所述的激光切割多层材料的系统,其特征在于,所述激光切割头具有至少两种用于通过所述激光束的路径。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京魔迪多维数码科技有限公司,未经南京魔迪多维数码科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110943188.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top