[发明专利]一种改善光纤传输衰减的反应系统及方法

权利要求书

1.一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于，其包括：

储存单元（1），其内储存有脱水剂（10）；

反应单元（2），其包括一反应腔（20），所述反应腔（20）包括第一反应区（200）和第二反应区（201），所述第一反应区（200）的平均深度大于第二反应区（201）的平均深度，并与所述储存单元（1）连通，所述第一反应区（200）用于收容沉积靶棒（4），以用于利用所述脱水剂（10）对沉积过程中的所述沉积靶棒（4）进行持续脱水，所述第二反应区（201）用于辅助所述第一反应区（200）进行脱水的同时，还用于将反应后的所述脱水剂（10）排出；

控制单元（3），其用于监测所述沉积靶棒（4）的直径尺寸，并根据所述直径尺寸调控所述第一反应区（200）与沉积靶棒（4）之间的重叠面积及所述储存单元（1）内脱水剂（10）的输出流量，以实现对沉积过程中的所述沉积靶棒（4）进行持续脱水。

2.如权利要求1所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述反应腔（20）内设有台阶结构（202），所述台阶结构（202）用于将所述反应腔（20）划分为所述第一反应区（200）和第二反应区（201），且靠近所述第一反应区（200）的台阶面呈倾斜面，以使所述第一反应区（200）的宽度尺寸沿靠近腔口的方向逐渐变大。

3.如权利要求1所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述第一反应区（200）沿宽度方向的截面呈方形，所述第二反应区（201）沿宽度方向的截面呈朝远离所述第一反应区（200）凹陷的弧形。

4.如权利要求1所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述第一反应区（200）远离所述第二反应区（201）的一侧上设有进气口（203），所述第二反应区（201）远离所述第一反应区（200）的一侧沿竖直方向间隔设有至少两个出气口（204），所述进气口（203）所处的水平面的高度低于位于最下方的所述出气口（204）所处的水平面的高度。

5.如权利要求1所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述反应系统还包括盖板单元（5），所述盖板单元（5）包括第一盖板（50）和第二盖板（51），所述第一盖板（50）的一端与所述第二反应区（201）远离所述第一反应区（200）的一侧顶部相连，另一端与所述第二盖板（51）相连，所述第二盖板（51）远离所述第一盖板（50）的一端所处的水平面高于所述第一盖板（50）所处的水平面，且该端上设有气体监测器（52）。

6.如权利要求5所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述第一盖板（50）为伸缩板，所述第一盖板（50）配置为：所述第一盖板（50）与控制单元（3）相连，所述控制单元（3）用于根据监测的所述沉积靶棒（4）的直径尺寸控制所述第一盖板（50）沿所述反应腔（20）的宽度方向来回移动。

7.如权利要求5所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述第一盖板（50）与第二反应区（201）和第二盖板（51）均转动连接，并用于根据所述沉积靶棒（4）的直径尺寸在所述控制单元（3）的控制下转动。

8.如权利要求5所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述第二盖板（51）呈朝远离所述反应腔（20）方向凹陷的弧形。

9.如权利要求1所述的一种改善光纤传输衰减的反应系统，其特征在于：所述反应系统还包括测径仪（6），所述测径仪（6）与控制单元（3）相连，并用于监测所述沉积靶棒（4）的直径尺寸。

10.一种改善光纤传输衰减的方法，其特征在于，该方法利用如权利要求1所述的反应系统实施，其步骤包括：

监测沉积过程中的沉积靶棒（4）的直径尺寸，并判断其是否不小于预设直径；

若是，则驱动反应单元（2）沿竖直方向移动以收容所述沉积靶棒（4），并根据所述直径尺寸调控第一反应区（200）与所述沉积靶棒（4）之间的重叠面积，同时还根据所述直径尺寸调控储存单元（1）内脱水剂（10）的输出流量，以实现对沉积过程中的所述沉积靶棒（4）进行持续脱水。