[发明专利]硬脆性材料干式改性磨削方法及系统在审
| 申请号： | 202110944486.4 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113635144A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张龙;朱利民;郭鹏 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/22;B28D1/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 改性 磨削 方法 系统 | ||
1.一种硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：通过大气等离子体喷头(2)产生大气等离子体(3)，大气等离子体喷头(2)沿规划路径(4)运动处理硬脆性材料(1)的硬脆性材料表面(6)，对硬脆性材料表面(6)进行干式改性；
步骤2：通过数控磨床控制磨削工具(5)对干式改性的硬脆性材料表面(6)进行磨削加工。
2.根据权利要求书1所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述步骤1中，根据硬脆性材料(1)的种类，选择不同的混合气体形成大气等离子体(3)。
3.根据权利要求书1所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述步骤1中，根据磨削面和微结构的差别，调节大气等离子体喷头(2)运动轨迹的间隔。
4.根据权利要求书1所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述步骤1中，硬脆性材料(1)为能与大气等离子体(3)发生化学作用的硬脆性材料。
5.根据权利要求书4所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，硬脆性材料(1)为石英玻璃、蓝宝石、单晶金刚石或单晶碳化硅中的一种。
6.根据权利要求书1所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述步骤2中，磨削工具(5)的进给方式具体为：沿砂轮切向、轴向及其混合进给磨削加工。
7.根据权利要求书6所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，磨削工具(5)的进给方式具体为：沿磨头轴向、垂直于磨头轴向以及多轴磨削进给磨削加工。
8.根据权利要求书1所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述步骤2中，数控磨床为平面磨床、五轴机床或超精密机床中的一种。
9.根据权利要求书8所述硬脆性材料干式改性磨削方法，其特征在于，所述数控磨床为超精密机床。
10.一种硬脆性材料干式改性磨削系统，其特征在于，包括如下模块：
改性模块：通过大气等离子体喷头(2)产生大气等离子体(3)，大气等离子体喷头(2)沿规划路径(4)运动处理硬脆性材料(1)的硬脆性材料表面(6)，对硬脆性材料表面(6)进行干式改性；
加工模块：通过数控磨床控制磨削工具(5)对干式改性的硬脆性材料表面(6)进行磨削加工。
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