[发明专利]一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法

权利要求书

1.一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：将软性神经探针的微电极点所在的正面向下，与热剥离胶带粘合；

步骤2：按照设定的蚕丝蛋白溶液浓度、旋涂速度和旋涂次数，在软性神经探针上方滴涂蚕丝蛋白溶液，并进行烘干，在软性神经探针背面形成单面硬化涂层；

步骤3：对热剥离胶带进行加热，热剥离胶带失去粘性，与软性神经探针分离，将软性神经探针微电极点所在的正面暴露；

所述软性神经探针通过在PDMS软性基底内部掺混设定比例硅油，并浸泡有机氯仿溶剂进行萃取，随后通过沉积Parylene-C衬底薄膜、溅射金属薄膜并图形化、沉积Parylene-C封装薄膜、氧等离子体图形化刻蚀Parylene-C薄膜的步骤，在软性神经探针表面形成微褶皱形貌，增大比表面积，避免由于热剥离胶带粘接分离，导致镀层发生的脱落。

2.根据权利要求1所述的一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法，其特征在于，所述软性神经探针以聚二甲基硅氧烷PDMS为软性基底，在软性基底上集成用聚对二甲苯Parylene-C柔性衬底封装的金属薄膜构成的蛇形导线。

3.根据权利要求1所述的一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法，其特征在于，所述步骤2中在软性神经探针上形成的单面硬化涂层的厚度为30～150微米。

4.根据权利要求1所述的一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法，其特征在于，在步骤2中，所述软性神经探针除背面形成单面硬化涂层外，侧壁同时形成硬化涂层，侧壁的硬化涂层厚度在10～50微米之间。

5.根据权利要求1所述的一种软性神经探针的单面硬化涂层制备方法，其特征在于，所述对热剥离胶带进行加热的温度为120摄氏度。