[发明专利]一种电容器用金属化薄膜及其制作方法

权利要求书

1.一种电容器用金属化薄膜，包括基膜层，其特征在于：还包括覆盖于所述基膜层上的锡层、覆盖于所述锡层上的锌层、覆盖于所述锌层上的AL₂O₃保护层。

2.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述锡层的重量为所述锡层、锌层及AL₂O₃层总重量的1％～2％。

3.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述锌层的重量为所述锡层、锌层及AL₂O₃层总重量的90％～95％。

4.根据权利要求1所述的电容器用金属化薄膜，其特征在于：所述AL₂O₃层的重量为所述锡层、锌层及AL₂O₃层总重量的4％～8％。

5.一种电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：在真空条件下，先在基膜层上蒸镀一层锡做打底金属，形成锡层；然后在锡层上再蒸镀一层锌，形成锌层；最后在锌层上再蒸镀一层AL₂O₃保护层。

6.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述锡层的蒸镀使用锡蒸发源，锡蒸发源采用了钼片舟加热，将金属锡放到钼片舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，锡蒸汽镀到基膜上。

7.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述锌层的蒸镀使用锌蒸发源，锌蒸发源的锌料放在铁槽内，用锌炉加热至600℃～700℃，锌蒸汽通过锌喷嘴，镀到锡层上。

8.根据权利要求5所述的电容器用金属化薄膜的制作方法，其特征在于：所述AL₂O₃保护层的蒸镀使用铝蒸发源，铝蒸发源采用了氮化硼蒸发舟，将8根或10根铝丝通过送丝机构送到氮化硼蒸发舟上熔化，在真空条件下加热到1000℃～1200℃，在蒸发源上方设置有喷氧气机构，铝蒸汽与喷出来的氧气反应形成AL₂O₃蒸汽镀到所述锌层上。