[发明专利]一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器在审
| 申请号： | 202110948136.5 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113655238A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 赵德春 | 申请（专利权）人： | 深圳市畅格光电有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P1/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区招商*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 光栅 加速度 传感器 | ||
1.一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器，其特征在于：
其包括：悬浮系统（1）、质量块（2）、传输支撑臂（3）、柔性铰链（4）、杠杆支撑臂（5）、光纤光栅（8）和框架（9）；
所述悬浮系统（1）包括两对U型的片弹簧和一个水平片弹簧（101），两对U型的片弹簧分别为第一对U型的片弹簧（102）和第二对U型的片弹簧（103），所述质量块（2）连接在中心的U型片弹簧的两个脚上，中心的U型片弹簧即为第一对U型的片弹簧（102）；中心的U型片弹簧通过水平的片弹簧与外部的U型片弹簧连接，外部的U型片弹簧即为第二对U型的片弹簧（103）；外部的U型片弹簧的两个脚连接在所述框架（9）上；所有片弹簧设计为相同的弹力系数；
所述质量块（2）位于所述悬浮系统（1）的中央，所述悬浮系统（1）中两对U型片弹簧和一对水平片弹簧确保所述质量块（2）只沿着测量方向运动；
所述传输支撑臂（3）将所述悬浮系统（1）与所述杠杆支撑臂（5）连接，光纤光栅（8）的一端固定在框架（9）上，光纤光栅（8）的另外一端固定在杠杆支撑臂（5）上，并施与光纤光栅（8）不少于2nm的预张力；当质量块（2）在惯性力的作用下发生测量方向上的移动时，会通过柔性铰链（4）作为杠杆支撑点，将质量块（2）的移动传递到杠杆支撑臂（5）上。
2.根据权利要求1所述的一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器，其特征在于：所述光纤光栅（8）为飞秒激光刻写的II型光纤光栅。
3.根据权利要求1所述的一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器，其特征在于：还包括第一光纤连接点（6）和第二光纤连接点（7）；光纤光栅（8）的一端通过第二光纤连接点（7）固定在框架（9）上，光纤光栅（8）的另外一端通过第一光纤连接点（6）固定在杠杆支撑臂（5）上。
4.根据权利要求1所述的一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器，其特征在于：所述杠杆支撑臂（5）内设置多个内孔，调节杠杆支撑臂（5）的质量，自由控制加速度传感器的本征频率。
5.根据权利要求4所述的一种基于飞秒光纤光栅的加速度传感器，其特征在于：所述杠杆支撑臂（5）内设置三个内孔。
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