[发明专利]一种砷化铟纳米结构及基于砷化铟纳米结构的红外探测器

权利要求书

1.一种砷化铟纳米结构，其特征在于，所述砷化铟纳米结构用于红外探测器以提高偏振及宽光谱的吸收率，所述砷化铟纳米结构包括：衬底和阵列设置在所述衬底上的纳米级砷化铟结构；所述砷化铟结构包括由三个片状结构砷化铟组成的三叶草结构；每个所述片状结构砷化铟的最优尺寸为：长度为1100nm，宽度为110nm，高度为5000nm，所述三叶草结构的砷化铟的填充率为0.086；阵列设置的多个砷化铟结构构成谐振腔。

2.根据权利要求1所述的砷化铟纳米结构，其特征在于，所述砷化铟结构包括由四个片状结构砷化铟组成的X网格结构。

3.根据权利要求1所述的砷化铟纳米结构，其特征在于，所述砷化铟结构包括由六个片状结构砷化铟组成的雪花结构。

4.根据权利要求3所述的砷化铟纳米结构，其特征在于，所述雪花结构中每个所述片状结构砷化铟的最优尺寸为：长度为800nm，厚度为110nm，高度为5000nm以及所述雪花结构的砷化铟的填充率为0.096。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的砷化铟纳米结构，其特征在于，所述砷化铟结构为对称性结构。

6.一种基于砷化铟纳米结构的红外探测器，其特征在于，所述红外探测器包括权利要求1-5任一项所述的砷化铟纳米结构。