[发明专利]一种防止堵塞的蒸镀设备

说明书

本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括冷却钳锅机构、蒸镀箱机构、防堵机构，设备能够卡紧基片，设备能够进行旋转蒸镀，设备能够蒸镀后关闭闸门然后进行快速冷却，设备能够保证真空泵的稳定运转，所述的冷却钳锅机构与蒸镀箱机构相连，蒸镀箱机构与防堵机构相连。

技术领域

本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备。

背景技术

在真空蒸镀的过程中，传统的蒸镀设备存在钳锅冷却慢、蒸镀容易不均匀、真空泵容易堵塞的问题，这样会造成蒸镀之后的效率低下，真空泵容易堵塞的问题，所以设计了一种防止堵塞的蒸镀设备。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种防止堵塞的蒸镀设备，设备能够卡紧基片，设备能够进行旋转蒸镀，设备能够蒸镀后关闭闸门然后进行快速冷却，设备能够保证真空泵的稳定运转。

为解决上述技术问题，本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括冷却钳锅机构、蒸镀箱机构、防堵机构，设备能够卡紧基片，设备能够进行旋转蒸镀，设备能够蒸镀后关闭闸门然后进行快速冷却，设备能够保证真空泵的稳定运转。

所述的冷却钳锅机构与蒸镀箱机构相连，蒸镀箱机构与防堵机构相连；

所述的冷却钳锅机构包括循环箱、皮带、第一皮带轮、带轴凸轮、带杆配合座、第一弹簧、钳锅、开合闸门、第二皮带轮、第一带轴锥齿轮、第二带轴锥齿轮、进风口、滤芯、带轴齿轮、内腔、循环通道、压出单向阀、压力变化箱、活塞、吸入单向阀、吸入口、回流管道、带凸起钩板、叶轮，循环箱连接在钳锅的下方，皮带与第一皮带轮摩擦连接，第一皮带轮与带轴凸轮相连，带轴凸轮与带杆配合座相接触，第一弹簧套在带杆配合座的杆上，钳锅上转动连接有两个带轴齿轮，带轴齿轮与开合闸门相连，两个带轴齿轮相互啮合，第二皮带轮与皮带摩擦连接，第二皮带轮与第一带轴锥齿轮相连，第一带轴锥齿轮转动连接在循环箱上，第一带轴锥齿轮与第二带轴锥齿轮相啮合，第二带轴锥齿轮与循环箱转动连接，第二带轴锥齿轮与叶轮相连，进风口设置在循环箱上远离带轴凸轮的一侧，滤芯卡合在循环箱内，滤芯穿过进风口，内腔设置在钳锅内，循环通道设置在钳锅内，循环通道一端穿过循环箱与压力变化箱相连通，循环通道内设有压出单向阀，循环通道另一端在钳锅内经过换向后延伸至循环箱内，循环通道通过回流管道与循环箱内部相连通，压力变化箱连接在循环箱内部，活塞与压力变化箱滑动连接，活塞与带杆配合座相连，带杆配合座与压力变化箱滑动连接，带杆配合座与循环箱滑动连接，吸入单向阀设置在压力变化箱上的吸入口处，带凸起钩板设置在循环箱内，带凸起钩板的向下倾斜的末尾处与叶轮中心高度相同。

作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的蒸镀箱机构包括基座、第一外接管、带支腿箱体本体、放料舱门、带孔轴、带凸起轴、第二弹簧、电机、电机座、第一伺服电机、带滑杆平台、换向齿轮、第一滑动齿条、第二滑动齿条、滑轨、卡座、带限位头滑杆、内置弹簧、丝杠，基座与带支腿箱体本体相连，带支腿箱体本体上设有第一外接管和放料舱门，带孔轴转动连接在带支腿箱体本体的顶板上，带凸起轴滑动连接在带孔轴内，第二弹簧套在带凸起轴上，带凸起轴与电机相连，电机与电机座相连，电机座滑动连接在带滑杆平台上，带滑杆平台设置在带支腿箱体本体的上端面上，第一伺服电机设置在带滑杆平台的上端，第一伺服电机的转动端与丝杠相连，丝杠转动连接在带滑杆平台上，丝杠与带支腿箱体本体转动连接，丝杠与电机座螺纹连接，换向齿轮转动连接在滑轨上，第一滑动齿条和第二滑动齿条均与换向齿轮相啮合，滑轨连接在带凸起轴的下端，两个卡座对称滑动连接在滑轨内，第一滑动齿条和第二滑动齿条均与带限位头滑杆相连，两带限位头滑杆对称滑动连接在滑轨上，带限位头滑杆与卡座相连，内置弹簧套在带限位头滑杆上，内置弹簧两端分别连接在滑轨内壁和卡座上，钳锅与带支腿箱体本体相连，循环箱与基座相连。