[发明专利]一种基于液体透镜的面型检测方法有效
申请号: | 202110953315.8 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN113670582B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 吴永前;肖康;刘锋伟;徐燕;陈小君;刘源超;周平;邓婷;覃蝶 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01B11/24 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 江亚平 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 液体 透镜 检测 方法 | ||
1.一种基于液体透镜的面型检测方法,所述液体透镜布置在面型检测光路中,所述液体透镜包括电压源(6),所述面型检测光路包括待测面(9),所述液体透镜(10),CCD(11),分束镜(12),准直镜(13),扩束镜(14),激光器(15),其特征在于,所述方法包括以下步骤:
1)所述激光器(15)发出一束光,先经过扩束镜(14)后再通过准直镜(13),然后通过分束镜(12),从该分束镜(12)透射的光通过所述液体透镜(10)后照射在待测面(9)上,被待测面(9)反射的光通过液体透镜(10)后再经分束镜(12)反射部分光至CCD(11),该部分光被CCD(11)接收;
2)改变所述液体透镜(10)的焦距,同时检测从CCD(11)接收到的光信号强度,当光强度达到极值即液体透镜(10)的焦距刚好在待测面(9)的一个检测点上,以此时的电压反解液体透镜(10)此时的焦距,从而得到待测面(9)上一个被测点和液体透镜(10)的相对位置;其中,通过改变所述电压源(6)的输出电压大小改变所述液体透镜(10)的焦距;
3)平移待测面,并执行上述步骤2),直至得到待测面(9)上一系列点的位置信息;
4)基于所述一系列点的位置信息,通过分析得到待测面(9)的面型。
2.根据权利要求1所述的一种基于液体透镜的面型检测方法,其特征在于:
所述液体透镜(10)还包括绝缘液体(1),疏水介电层(2),基板(3),ITO电极层(4),导电液体(5),电压源(6),绝缘层(8),所述电压源(6)用于在所述导电液体(5)和绝缘层(8)之间施加外加电压,通过改变所述外加电压的大小,使导电液体(5)与绝缘液体形成的透镜界面发生挤压,进而改变了所述液体透镜(10)的焦距。
3.根据权利要求2所述的一种基于液体透镜的面型检测方法,其特征在于:
所述绝缘液体(1)和导电液体(5)分别置于不同的容器内。
4.根据权利要求2所述的一种基于液体透镜的面型检测方法,其特征在于:
基于液体材料的折射率和透光率选择用于所述绝缘液体(1)和导电液体(5)的材料。
5.根据权利要求2所述的一种基于液体透镜的面型检测方法,其特征在于:
采用加盐的水溶液作为导电液体(5),通过加入不同浓度盐水调节导电液体的导电性以及控制液体透镜(10)的可操作温度范围。
6.根据权利要求1所述的一种基于液体透镜的面型检测方法,其特征在于:
所述液体透镜(10)为填充液晶材料的液体镜头时,通过改变施加在液晶上的电压大小来调节液晶折射率,从而改变所述液体透镜(10)的焦距。
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