[发明专利]一种自动化二维材料转移装置

权利要求书

1.一种自动化二维材料转移装置，包括转移台和样品台，其特征在于：

所述样品台包括有样品座、隔热台、真空部件、旋转位移台、第一XY轴位移台和样品台底座，所述样品台底座上自下而上依次安装有第一XY轴位移台、旋转位移台和真空部件，所述隔热台安装在真空部件上，样品座安装在隔热台上；所述第一XY轴位移台用于带动所述旋转位移台、样品座、隔热台和真空部件进行水平面内的移动；所述旋转位移台用于带动所述真空部件、样品座和隔热台旋转；所述样品座用于配合第一真空泵对样品进行吸附固定，使得样品随样品座移动；

所述转移台包括有转移臂、粗调Z轴位移台、细调Z轴位移台、俯仰偏转位移台、第二XY轴位移台和转移台底座，所述转移台底座上自下而上依次安装有第二XY轴位移台、俯仰偏转位移台、细调Z轴位移台、粗调Z轴位移台和转移臂；所述第二XY轴位移台用于带动所述转移臂、粗调Z轴位移台、细调Z轴位移台和俯仰偏转位移台进行水平面内的移动；所述俯仰偏转位移台用于带动所述转移臂、粗调Z轴位移台和细调Z轴位移台在两个方向上进行俯仰调节；所述粗调Z轴位移台和细调Z轴位移台用于带动所述转移臂进行纵向移动；所述转移臂用于配合第二真空泵对转移用载玻片进行吸附固定，使得转移用载玻片随转移臂移动。

2.根据权利要求1所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述样品台底座和转移台底座以一定的距离固定在多孔固定板或光学平板上。

3.根据权利要求1所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述隔热台由隔热材料制成，用于隔断样品座与真空部件之间的热量传递。

4.根据权利要求3所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述真空部件通过第一转接件与旋转位移台连接；

所述旋转位移台通过第二转接件与第一XY轴位移台连接。

5.根据权利要求3所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述样品座上设有样品吸附孔，真空部件上设有第一真空泵接口；

所述样品吸附孔纵向贯穿样品座设置，样品吸附孔还与纵向贯穿隔热台中心的孔相连通，隔热台中心的孔还与真空部件中心的半贯穿纵向孔相连通，真空部件中心的半贯穿纵向孔还与第一真空泵接口相连通；

所述第一真空泵的进气口连接在第一真空泵接口上，经由真空部件、隔热台与样品座中相连的孔抽气，即在样品吸附孔中营造出负压，在大气压与负压的压强差作用下，将样品吸附固定在样品座上，使得样品随样品座移动。

6.根据权利要求5所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述隔热台上设有入水接口、出水接口和加热棒放置位；

水冷系统分别与入水接口和出水接口相连接，水冷系统用于抽离在样品座中受热升温的水，再输入较低温度的冷水，从而实现对样品座的快速降温；

加热棒置于加热棒放置位中，加热棒用于对样品座上的样品进行快速加热。

7.根据权利要求6所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述样品座上还设有测温器接口；

测温器由导热胶固定在测温器接口处，且测温器的探头完全嵌入到样品座中，测温器用于实时测量样品座上的样品温度。

8.根据权利要求1-7任一项所述的自动化二维材料转移装置，其特征在于，所述转移臂上设有第二真空泵接口，第二真空泵接口尽头延伸出两个纵向的载玻片吸附孔；

所述第二真空泵的进气口接在第二真空泵接口进行抽气，在转移臂的载玻片吸附孔中营造出负压，在大气压与负压的压强差下，将粘有聚合物的转移用载玻片固定在转移臂下，随转移臂移动。