[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法、压力检测系统有效
| 申请号： | 202110956452.7 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113686467B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李扬渊 | 申请（专利权）人： | 成都蕊感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刘茂源 |
| 地址： | 610000 四川省成都市自由贸*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 压力 检测 系统 | ||
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：
第一电极层；
第二电极层；
第一弹性电介质层，所述第一弹性电介质层位于所述第一电极层与所述第二电极层之间；以及
抗压延结构，所述抗压延结构被配置为限制所述第一弹性电介质层受到压力时在垂直于压力方向的延展形变；
其中，所述第一弹性电介质层具有第一拉伸模量，所述抗压延结构具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
2.如权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述抗压延结构包括第一抗压延层，所述第一抗压延层位于所述第一电极层与所述第一弹性电介质层之间，所述第一抗压延层一面与所述第一电极层粘接，另外一面与所述第一弹性电介质层粘接；和/或者
所述抗压延结构包括第二抗压延层，所述第二抗压延层位于所述第二电极层与所述第一弹性电介质层之间，所述第二抗压延层一面与所述第二电极层粘接，另外一面与所述第一弹性电介质层粘接。
3.如权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述抗压延结构包括第一抗压延层，所述第一抗压延层与所述第一电极层背离所述第一弹性电介质层的一侧粘接；和/或者
所述抗压延结构包括第二抗压延层，所述第二抗压延层与所述第二电极层背离所述第一弹性电介质层的一侧粘接。
4.如权利要求2或3任一项所述的电容式压力传感器，其特征在于，还包括第三电极层、第二弹性电介质层以及第三抗压延层，所述第二弹性电介质层和所述第三抗压延层设置于所述第二电极层与所述第三电极层之间。
5.如权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述抗压延结构包括设置于所述第一弹性电介质层内部的抗压延骨架。
6.如权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述抗压延结构包括设置于所述第一电极层内的抗压延骨架；和/或者
所述抗压延结构包括设置于所述第二电极层内的抗压延骨架。
7.一种电容式压力传感器制备方法，其特征在于，包括：
提供一第一电极层；
提供一第二电极层；
提供一第一弹性电介质层；
提供一抗压延结构，所述抗压延结构包括第一抗压延层；
将所述第一电极层、所述第一弹性电介质层、所述第二电极层以及所述第一抗压延层堆叠并粘合；
其中，所述第一弹性电介质层具有第一拉伸模量，所述抗压延结构具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
8.一种电容式压力传感器制备方法，其特征在于，包括：
提供一抗压延结构，所述抗压延结构包括抗压延骨架；
基于所述抗压延骨架，形成包裹所述抗压延骨架的第一弹性电介质层；
提供一第一电极层；
提供一第二电极层；
将所述第一电极层、所述第一弹性电介质层以及所述第二电极层堆叠并粘合；
其中，所述第一弹性电介质层具有第一拉伸模量，所述抗压延结构具有第二拉伸模量，所述第二拉伸模量大于所述第一拉伸模量。
9.一种压力检测系统，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的电容式压力传感器。
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