[发明专利]一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法在审
申请号: | 202110958000.2 | 申请日: | 2021-08-20 |
公开(公告)号: | CN113480193A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 黄锡刚;沈小华 | 申请(专利权)人: | 重庆东玲光学元件有限公司 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 重庆以知共创专利代理事务所(普通合伙) 50226 | 代理人: | 钟亮 |
地址: | 400700 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 光学玻璃 表面 复合 及其 制备 方法 | ||
本发明属于真空镀膜领域,尤其是一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法,针对现有的复合膜层强度较差,并且耐磨性不足,在长时间使用后表面容易存在较多划痕,同时复合膜层的抗紫外线性能和防雾性能均较差的问题,现提出如下方案,其用于光学玻璃表面的复合膜层包括光学玻璃,所述光学玻璃的顶部设置有碳化铬层,所述碳化铬层的顶部设置有碳化钛层,所述碳化钛层的顶部设置有抗紫外线层,所述抗紫外线层的顶部设置有防雾层,所述碳化铬层的厚度为4‑5um,碳化钛层的厚度为5‑6um。本发明复合膜层强度较好,并且耐磨性较好,在长时间使用后表面容易不会存在较多划痕,同时复合膜层的抗紫外线性能和防雾性能均较好。
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法。
背景技术
光学玻璃指能改变光的传播方向,并能改变紫外、可见或红外光的相对光谱分布的玻璃。狭义的光学玻璃是指无色光学玻璃;广义的光学玻璃还包括有色光学玻璃、激光玻璃、石英光学玻璃、抗辐射玻璃、紫外红外光学玻璃、纤维光学玻璃、声光玻璃、磁光玻璃和光变色玻璃。光学玻璃可用于制造光学仪器中的透镜、棱镜、反射镜及窗口等。由光学玻璃构成的部件是光学仪器中的关键性元件。
目前用于光学玻璃表面的复合膜层强度较差,并且耐磨性不足,在长时间使用后表面容易存在较多划痕,同时复合膜层的抗紫外线性能和防雾性能均较差,不能够满足实际使用需要,因此提出了一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在复合膜层强度较差,并且耐磨性不足,在长时间使用后表面容易存在较多划痕,同时复合膜层的抗紫外线性能和防雾性能均较差的缺点,而提出的一种用于光学玻璃表面的复合膜层及其制备方法。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种用于光学玻璃表面的复合膜层,包括光学玻璃,所述光学玻璃的顶部设置有碳化铬层,所述碳化铬层的顶部设置有碳化钛层,所述碳化钛层的顶部设置有抗紫外线层,所述抗紫外线层的顶部设置有防雾层。
优选的,所述碳化铬层的厚度为4-5um,碳化钛层的厚度为5-6um。
一种上述的用于光学玻璃表面的复合膜层的制备方法,包括以下步骤:
S1:光学玻璃清洗:将光学玻璃加入到超声波清洗机中进行清洗;
S2:光学玻璃烘干:将清洗后的光学玻璃加入到烘干机中进行烘干处理;
S3:镀碳化铬层:在光学玻璃的表面镀碳化铬层;
S4:镀碳化钛层:在碳化铬层表面镀碳化钛层;
S5:镀抗紫外线层:在碳化钛层表面镀抗紫外线层;
S6:镀防雾层:在抗紫外线层表面镀防雾层。
优选的,所述S1中,超声波清洗机中添加适量清洗剂,光学玻璃在超声波清洗机中清洗时间设置为8-10min,光学玻璃在超声波清洗机中清洗完成后使用清水对光学玻璃进行冲洗。
优选的,所述S2中,烘干机的烘干温度设置为40-50℃,烘干时间设置为30-40min,在烘干前后使用无尘手套对光学玻璃进行操作。
优选的,所述S3中,在惰性环境下对光学玻璃表面进行等离子束轰击,形成碳化铬层沉积,碳化铬层沉积时间设置为50-60min,惰性环境下的气压设置为0.5-0.6Pa。
优选的,所述S4中,在惰性环境下对碳化铬层表面进行等离子束轰击,形成碳化钛层沉积,碳化钛层沉积时间设置为20-30min,惰性环境下的气压设置为0.2-0.3Pa。
优选的,所述S5中,采用电子束蒸发镀膜在碳化钛层上镀抗紫外线层,然后在抗紫外线层上镀防雾层。
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