[发明专利]一种电子束蒸发台行星镀锅装置及其使用方法

权利要求书

1.一种电子束蒸发台行星镀锅装置，包括行星锅体(1)，其特征在于：所述行星锅体(1)外侧开设有十二个圆槽(7)，其中九个所述圆槽(7)呈圆周状均匀分布在行星锅体(1)外侧壁，另外三个所述圆槽(7)呈品字状分布于行星锅体(1)侧壁中部，多个所述圆槽(7)内侧均固定嵌设有承片圈(2)，多个所述承片圈(2)一侧均设有盖板(3)，所述承片圈(2)与盖板(3)紧密贴合，多个所述盖板(3)顶部两侧均设有固定压片(9)，所述盖板(3)与固定压片(9)相接触，所述固定压片(9)端部一侧设有十字盘头螺钉(8)，所述十字盘头螺钉(8)外侧套设有垫片(5)，所述垫片(5)与固定压片(9)相接触，所述十字盘头螺钉(8)贯穿固定压片(9)并与固定压片(9)通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：多个所述盖板(3)一侧均固定连接有电子枪(4)，多个所述盖板(3)另一侧均固定连接有提把(6)。

3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述行星锅体(1)侧壁开设有多个螺孔(10)，所述十字盘头螺钉(8)延伸入螺孔(10)内部并与螺孔(10)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述固定压片(9)外侧套设有弹簧垫圈(17)，所述弹簧垫圈(17)分别与固定压片(9)和行星锅体(1)侧壁相接触。

5.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述行星锅体(1)中部开设有通孔，所述行星锅体(1)顶部设有连接法兰(14)，所述连接法兰(14)贯穿行星锅体(1)，所述连接法兰(14)顶部固定连接有转轴(12)。

6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述行星锅体(1)底部设有固定垫圈(15)，所述固定垫圈(15)与行星锅体(1)相接触。

7.根据权利要求5所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述连接法兰(14)顶部设有三个内六角螺栓(13)，三个所述内六角螺栓(13)呈圆周状等距分布，三个所述内六角螺栓(13)分布贯穿连接法兰(14)和行星锅体(1)并与连接法兰(14)和行星锅体(1)通过螺纹连接，所述内六角螺栓(13)端部与固定垫圈(15)通过螺纹连接。

8.根据权利要求5所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述转轴(12)顶部设有第一卡夹(11)，所述第一卡夹(11)与转轴(12)相扣合，所述转轴(12)端部设有第二卡夹(16)，所述第二卡夹(16)贯穿转轴(12)。

9.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台行星镀锅装置，其特征在于：所述行星锅体(1)厚度设置为3mm，所述行星锅体(1)锅口直径设置为581mm。

10.一种电子束蒸发台行星镀锅装置使用方法，其特征在于：具体步骤如下：

S1、镀锅拼装：将连接法兰(14)插入行星锅体(1)内并将行星锅体(1)贯穿，同时行星锅体(1)底部设置一个契合的固定垫圈(15)，通过内六角螺栓(13)将连接法兰(14)、行星锅体(1)和固定垫圈(15)固定，固定完成后，在连接法兰(14)顶部的转轴(12)端部分别卡上第一卡夹(11)和第二卡夹(16)，分方便后期加工，同时在行星锅体(1)表面的圆槽(7)内侧嵌上承片圈(2)，嵌上完成后将盖板(3)安装在承片圈(2)上，同时利用固定压片(9)将盖板(3)挡住，避免盖板(3)脱落，再使用十字盘头螺钉(8)将固定压片(9)固定，此时盖板(3)便安装完成，安装完成后将该装置安装在真空镀膜机的真空室内；

S2、镀前准备：蒸镀前将真空蒸镀机的真空室内壁、以及行星锅体(1)表面和盖板(3)表面的油污、锈迹、残余镀料清洁掉，避免在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力，将镀膜真空室抽真空到合适的真空度，并对盖板(3)表面的基片和行星锅体(1)底部的镀膜材料进行预处理，首先加热盖板(3)表面的基片，达到去除水分和增强膜基结合力的效果，同时在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的游离气体脱附，然后经泵排出镀膜真空室，有利于提高镀膜真空室真空度、膜层纯度和膜基结合力，然后在进行膜料的预热或者预熔；

S3、电子束蒸镀：使用前检查电子枪(4)的状况，使水压、水流量指示正常，防止将坩埚损坏，电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜，通过电子枪(4)发射的电子束在磁场的作用下，使电子束携带的势能更高，电子束轰击行星锅体(1)底部的坩埚内的靶材物质，使其熔化，靶材物质熔化后蒸发，蒸发的高温将材料气体喷射到基片上并形成高纯度的膜。