[发明专利]一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元

说明书

本发明涉及一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元，模块化滑块装置包括静压滑块和节流器，静压滑块与节流器采用模块化设计，组合为一体，节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的节流器；静压滑块上开设有进油口，进油口与节流器匹配，进油口通过静压滑块内开设的滑块液体流道与对应的静压腔连通，对应的节流器安装在连通进油口与静压腔的滑块液体流道上；本发明的液体静压导轨利用液体静压技术支撑运动部件，具备很高的直线度并可精确实现微小进给运动的分辨率，节流器与静压滑块设计为模块化。通过多路油压管道为每一个静压滑块提供压力，并通过静压滑块上的节流器调节静压油腔内的压力及流量。

技术领域

本发明涉及超精密液体静压导轨技术领域，更具体的说是涉及一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元。

背景技术

目前市场上出售的超精密加工领域运动进给驱动系统主要是空气静压导轨系统，采用液体静压技术的静压导轨存在运动直线度明显低于空气静压导轨系统的现状。超精密气体静压导轨的问题主要是刚度必需在负载波动很小的条件下保证，成为一般的超精密机床制造领域迫切需要解决的问题。目前的液体静压导轨单元运动部分的设计缺乏互换性，节流器调节并不能每一组节流器对应一个液压腔；双膜片节流器一直以具有极高的刚度、响应能力而被应用于液体静压导轨中，但其不便于调整、占用空间大，较少应用于商品化超精密机床中。

因此，如何提供一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种模块化滑块装置及应用其的超精密液体静压导轨单元，以至少解决上述背景技术部分所提出的问题之一。

为了实现上述方案，本发明采用以下技术方案：

一种模块化滑块装置，包括静压滑块和节流器，所述静压滑块与所述节流器采用模块化设计，组合为一体，所述节流器与静压腔匹配设置，每个静压腔均匹配有对应的所述节流器；所述静压滑块上开设有进油口，所述进油口与所述节流器匹配，所述进油口通过所述静压滑块内开设的滑块液体流道与对应的所述静压腔连通，对应的所述节流器安装在连通所述进油口与所述静压腔的滑块液体流道上。

优选的，在上述一种模块化滑块装置中，所述节流器为双膜片节流器，所述双膜片节流器由安装在所述静压滑块上的节流器板和薄膜组成，中间通过垫片联结避免泄油，所述双膜片节流器通过更换垫片，或者修磨薄膜对所述双膜片节流器进行调节。

优选的，在上述一种模块化滑块装置中，所述节流器为可调式膜片节流器，所述可调式膜片节流器通过手动调节螺栓调节膜片间隙进而实现对可调式膜片节流器的调节。

优选的，在上述一种模块化滑块装置中，在水平方向使用并作为承载静压滑块模组使用时，静压滑块的顶面设置上静压腔，底面设置下静压腔。

优选的，在上述一种模块化滑块装置中，作为侧向静压滑块模组使用时，静压滑块的两侧分别开设静压腔。

一种应用模块化滑块装置的超精密液体静压导轨单元，包括导轨、模块化滑块装置、护板、分油块、静压溜板、压板、直线电机、直线电机安装板、侧盖板、光栅外罩、光栅系统、读数头支架和油塞；模块化滑块装置包括承载静压滑块模组和侧向静压滑块模组；

承载静压滑块模组设置有四个，安装在静压溜板的四个角上，侧向静压滑块模组设置有两个，安装在所述静压溜板的中间；压板安装在导轨上，其提供的基准面与承载静压滑块模组的上静压面接触以及与侧向静压滑块模组的侧静压面接触，承载静压滑块模组垂直方向以及侧向静压滑块模组两侧形成的液体静压支撑与所述导轨和压板接触；

分油块安装在静压溜板侧面，通过静压溜板内置的多管路为承载静压滑块模组和侧向静压滑块模组提供液压油；导轨两个侧面分别设置左侧回油槽和右侧回油槽；