[发明专利]一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件

权利要求书

1.一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述器件由多个完全相同的单元以一定的排列规则排列在衬底表面而形成；

每个所述单元包括支撑柱、镜面和电极，其中，所述支撑柱位于镜面中央的下方，且二者相连，所述支撑柱能起到支撑镜面的作用，所述镜面四周边缘悬空，所述电极位于镜面的正下方，且电极设在衬底表面上以及位于支撑柱的四周；

所述镜面初始未工作时呈凹面，当入射平行光照射到镜面时，从镜面反射的反射光能发生汇聚；当对镜面及电极施加一定的直流电势差，则由于静电力的吸引，镜面边缘会向下弯曲，从而使整个镜面由凹面变为凸面，因而将使所述反射光发散。

2.根据权利要求1所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述镜面为多层结构。

3.根据权利要求2所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述镜面为上下两层结构，其中，下层为较厚的结构层，存在残余压应力或无残余应力，上层为较薄的反射层，具有残余拉应力；

所述上下两层的残余应力不一致，导致镜面初始产生变形，形成所述凹面，凹面的曲率半径由所述上下两层的残余应力共同决定。

4.根据权利要求3所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述的镜面的所述反射层在其应用波段具有高反射率。

5.根据权利要求3所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述的镜面的结构层和所述支撑柱都是导体，以用于施加电信号；

用于给镜面传导电信号的导线从所述电极中穿过，所述电极中留有供所述导线穿过的空隙。

6.根据权利要求1所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述的镜面为正方形、六边形或圆形；

且所述镜面和所述电极的形状关系是相互独立的。

7.根据权利要求1所述的一种集成球面反射镜的MEMS微快门阵列器件，其特征在于：

所述的排列规则为方形排列、正三角形排列或圆形排列；

所述排列规则与镜面或者电极的形状无关。