[发明专利]原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法

权利要求书

1.原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）先对基体进行清洗，然后进行退火预处理，将处理后的基体再进行清洗并晾干备用；

2）将钛源、氟源、酸和异丙醇均匀混合并充分搅拌，配置成反应前驱液备用；

3）将基体与反应前驱液移至不锈钢高压反应釜中，在电热鼓风干燥箱中进行水热反应，反应结束后冷却取出基体，用去离子水进行超声清洗，获得表面有二氧化钛薄膜的基体；

步骤1）中的基体为钛、钛合金中的至少一种；

步骤2）中反应前驱液中的钛源为氟钛酸铵、氟钛酸、三氯化钛、四氟化钛、硫酸亚钛中的至少一种；

步骤2）中反应前驱液中的氟源为氟钛酸铵、氟钛酸、氟化钠、四氟化钛中的至少一种。

2.如权利要求1所述的原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，步骤2）中反应前驱液中的酸为盐酸、硫酸、硝酸、草酸、乙酸中的至少一种。

3.如权利要求1所述的原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，步骤2）中反应前驱液中的钛源浓度为0.20mM-1.60mM。

4.如权利要求1所述的原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，步骤2）中钛源与酸的摩尔比为1：9-1:100，钛源与异丙醇的摩尔比为1：25-1 :150，钛源与氟源的摩尔比为1：2-1：10。

5.如权利要求1所述的原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，步骤1）中采用的退火预处理温度是200-700℃，保温0.5h以上。

6.如权利要求1所述的原位制备{001}晶面曝露的锐钛矿型二氧化钛薄膜的方法，其特征在于，步骤3）中水热反应使用的反应时间为1-5h，水热反应的温度为80-200℃，水热反应后的冷却方式是水冷冷却。