[发明专利]板状物的制造方法和板状物

说明书

本发明提供板状物的制造方法和板状物，在硬质的板状物中兼具强度和弯曲性。提供板状物的制造方法，通过对由硬质材料形成的板状的被加工物利用具有透过被加工物的波长的脉冲状的激光束进行加工而制造能够通过外力而弯曲的板状物，板状物的制造方法具有在被加工物上形成多个盾构隧道的盾构隧道形成步骤和利用蚀刻剂对盾构隧道进行蚀刻的蚀刻步骤，在盾构隧道形成步骤中，在沿着设定于被加工物的一个面的线状的第1加工预定区域具有第1长度的第1盾构隧道区域中形成多个盾构隧道，在沿着在一个面上与第1加工预定区域的延长线上不同且与第1加工预定区域相邻的线状的第2加工预定区域具有第2长度的第2盾构隧道区域中形成多个盾构隧道。

技术领域

本发明涉及通过利用激光束对由硬质材料形成的板状的被加工物进行加工而制造能够通过外力而弯曲的板状物的板状物的制造方法以及由硬质材料形成且能够通过外力而弯曲的硬质的板状物。

背景技术

近年来，具有柔性显示器的便携终端备受瞩目(例如参照专利文献1)。这样的柔性显示器的正面利用由树脂形成的透明的硬质膜等覆盖而进行保护(例如参照专利文献2)。

但是，树脂制的硬质膜存在容易刮伤、容易经年劣化的问题。为了解决该问题，例如考虑利用由玻璃等硬质材料形成的板状物对正面进行保护。

专利文献1：日本特开2015-226204号公报

专利文献2：日本特开2019-206166号公报

但是，当将玻璃制的板状物形成为能够弯曲的薄度时，板状物的强度不足。与此相对，当将玻璃制的板状物形成为能够确保强度的厚度时，难以使板状物弯曲。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于在硬质的板状物中兼具强度和弯曲性。

根据本发明的一个方式，提供板状物的制造方法，对由硬质材料形成的板状的被加工物利用具有透过该被加工物的波长的脉冲状的激光束进行加工，从而制造能够通过外力而弯曲的板状物，其中，该板状物的制造方法具有如下的步骤：盾构隧道形成步骤，在将该激光束的聚光点定位于该被加工物的内部的状态下对该被加工物照射该激光束，从而在该被加工物中形成多个盾构隧道，该多个盾构隧道分别包含沿着该被加工物的厚度方向形成的细孔和围绕在该细孔的侧方的改质区域；以及蚀刻步骤，利用蚀刻剂对该多个盾构隧道进行蚀刻，在该盾构隧道形成步骤中，在第1盾构隧道区域中形成多个盾构隧道，该第1盾构隧道区域沿着设定于该被加工物的一个面的线状的第1加工预定区域具有第1长度，在第2盾构隧道区域中形成多个盾构隧道，该第2盾构隧道区域沿着线状的第2加工预定区域具有第2长度，该第2加工预定区域在该一个面上设定于与该第1加工预定区域的延长线上不同并且与该第1加工预定区域相邻的区域，在从该第1加工预定区域趋向该第2加工预定区域的方向上观察该被加工物的情况下，该第2盾构隧道区域与该第1盾构隧道区域部分地重叠。

优选该盾构隧道形成步骤包含如下的步骤：第1盾构隧道形成步骤，交替地形成该激光束的照射区域和非照射区域，由此沿着该第1加工预定区域隔开第1间隔而形成多个第1盾构隧道区域；以及第2盾构隧道形成步骤，交替地形成该照射区域和该非照射区域，由此沿着该第2加工预定区域隔开第2间隔而形成多个第2盾构隧道区域。

优选该被加工物由玻璃形成。

优选板状物的制造方法还具有如下的填充步骤：在该蚀刻步骤之后，向形成于该第1盾构隧道区域和该第2盾构隧道区域的空间填充树脂。