[发明专利]一种中性铜蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 202110973776.1 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113667978A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘岩峰;陈继航 | 申请（专利权）人： | 青岛爱大生环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/14 | 分类号： | C23F1/14;C23F1/44 |
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| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 中性 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
1.一种中性铜蚀刻液，其特征在于所述中性蚀刻液的pH值为6-8，以重量计由下述组分配制而成：醋酸3-10％、铜盐1-5％、络合剂1-10％、缓蚀剂1-6％、pH值调节剂5-15％、表面活性剂0.1-5％及余量去离子水。
2.根据权利要求1所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述铜盐为硝酸铜、硫酸铜及乙酸铜中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述络合剂为甘氨酸、苹果酸、酒石酸及草酸中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述缓蚀剂为咪唑。
5.根据权利要求1所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述pH值调节剂为三乙醇胺或二乙醇胺。
6.根据权利要求1所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为阴离子表面活性剂。
7.根据权利要求6所述的一种中性铜蚀刻液，其特征在于：所述阴离子表面活性剂为十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠中任意一种或多种。
8.一种权利要求1-7任一项所述中性铜蚀刻液的制备方法，其特征在于包括下述步骤：
(1)将去离子水加入反应搅拌罐中；
(2)在反应搅拌罐中加入铜盐，并搅拌20-40分钟；
(3)在不断搅拌的条件下，加入络合剂，并搅拌20-40分钟；
(4)在不断搅拌的条件下，加入缓蚀剂，并搅拌20-40分钟；
(5)在不断搅拌的条件下，加入醋酸与表面活性剂，并搅拌20-40分钟；
(6)在不断搅拌的条件下，加入pH值调节剂，将pH值调整在6-8之间后，并搅拌20-40分钟；
(7)将混合液体采用0.1μm过滤器进行过滤后得到中性铜蚀刻液。
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