[发明专利]一种用于离轴缩束光学系统的装调装置与装调方法

权利要求书

1.一种用于离轴缩束光学系统的装调装置，其特征在于：包括ZYGO干涉仪(1)、离轴缩束装调子系统(2)、离轴缩束光学系统(3)、方位俯仰台(4)和基准反射镜(5)；

所述的离轴缩束光学系统(3)包括离轴次镜室(32)、离轴次镜(33)、主框架(34)、离轴主镜(35)和离轴主镜室(37)，所述的离轴主镜(35)安装在离轴主镜室(37)内，所述的离轴次镜(33)安装在离轴次镜室(32)内，所述的离轴主镜室(37)和离轴次镜室(32)分别设置在主框架(34)的相对两侧，所述的主框架(34)固定在方位俯仰台(4)上；

所述的离轴缩束装调子系统(2)包括侧面工装(21)和正面工装(22)，所述的侧面工装(21)固定在主框架(34)的侧面，正面工装设置在主框架(34)的正面，所述的正面工装(22)固定在侧面工装(21)上；

所述侧面工装(21)带动正面工装(22)进行平移运动，所述正面工装(22)带动离轴次镜(33)进行转动、俯仰运动及平移运动；

所述的ZYGO干涉仪(1)位于主框架(34)的入光口前，所述的基准反射镜(5)位于主框架(34)的出光口前，ZYGO干涉仪(1)的出射光与主框架(34)上的入光口重合；所述侧面工装(21)包括侧面工装旋钮(211)、螺纹阶梯轴(212)、侧面安装板(213)、两个孔用挡圈Ⅰ(214)、两个轴承Ⅰ(215)、侧面工装轴套Ⅰ(216)、侧面工装轴套Ⅱ(217)、螺纹阶梯轴固定螺母(218)、连接块(219)和两个连接阶梯轴(2110)；

所述连接块(219)安装在侧面安装板(213)的槽内，两个连接阶梯轴(2110)的一端穿过侧面安装板(213)的两个滑杆孔并通过螺纹连接固定到连接块(219)上，两个连接阶梯轴(2110)的另一端通过螺母连接所述的正面工装(22)；所述螺纹阶梯轴(212)一端是光轴，另一端是螺纹轴，螺纹阶梯轴(212)的光轴端穿过连接块(219)且在螺纹阶梯轴(212)与连接块(219)连接处依次在光轴端安装其中一个孔用挡圈Ⅰ、其中一个轴承Ⅰ(215)、侧面工装轴套Ⅰ(216)、另一个轴承Ⅰ(215)、另一个孔用挡圈Ⅰ(214)、侧面工装轴套Ⅱ(217)和螺纹阶梯轴固定螺母(218)实现螺纹阶梯轴(212)与连接块(219)的轴向固定且能周向转动，螺纹阶梯轴(212)的螺纹轴端穿过侧面安装板(213)并与侧面安装板(213)螺纹连接；

所述侧面工装旋钮(211)安装在螺纹阶梯轴(212)的螺纹轴端上，旋动侧面工装旋钮(211)时螺纹阶梯轴(212)在侧面安装板(213)内螺旋转动，将螺纹阶梯轴(212)的转动转变为连接块(219)在侧面安装板(213)的槽内平移运动，进而使正面工装(22)进行平移运动。

2.根据权利要求1所述的一种用于离轴缩束光学系统的装调装置，其特征在于：在侧面安装板(213)和连接块(219)的下侧接触部分采用激光刻蚀将位移尺寸刻度刻蚀在侧面安装板(213)上，旋动侧面工装旋钮(211)时得到正面工装(22)的精确位移。