[发明专利]一种酸性蚀刻液闭环再生的方法及系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液闭环再生的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)三室电解装置中的第一阳极室内含有硫酸溶液，阴极室内含有酸性蚀刻废液，电解时阳离子交换膜阻碍Cl^-从阴极室进入第一阳极室；

(2)检测阴极室中阳离子浓度，根据所述阳离子浓度将阴极室内电解液通入第二阳极室，并在阴极室内补充酸性蚀刻废液；

(3)检测第二阳极室内电解液的电解液参数，根据所述电解液参数将第二阳极室中电解液排出，即得到再生酸性蚀刻液。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：蚀刻线产生的酸性蚀刻废液连续或间断通入阴极室；

优选地，所述蚀刻线产生的酸性蚀刻废液先通入废液储存装置，再通入阴极室；

优选地，所述蚀刻线产生的酸性蚀刻废液溢流至废液储存装置；

优选地，所述再生酸性蚀刻液直接循环至蚀刻线，形成闭环；

优选地，所述再生酸性蚀刻液先通入再生液储存装置，再循环至蚀刻线，形成闭环。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述硫酸的浓度为80-120g/L，优选为90-110g/L；

优选地，步骤(1)中，三室电解装置内，第一阳极和阴极之间的电流密度为300-500A/m²，优选为350-450A/m²；

优选地，步骤(1)中，三室电解装置内，阴极和第二阳极之间的电流密度为100-300A/m²，优选为150-250A/m²。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)中第二阳极室内的阳离子浓度包括Cu⁺浓度、Cu²⁺浓度、Fe²⁺浓度或Fe³⁺浓度中的任意一种或至少两种的组合；

优选地，所述阴极室内电解液通过第二物料输送装置通入第二阳极室；

优选地，步骤(2)中阴极室内的阳离子浓度达到设定值以下时，第二物料输送装置自动开启，所述设定值为25-35g/L，优选为28-32g/L；

优选地，所述阴极室内通过第一物料输送装置补充酸性蚀刻废液。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)中所述电解液参数为氧化还原电位；

优选地，所述第二阳极室中电解液通过第三物料输送装置排出；

优选地，所述氧化还原电位达到设定值以上时，第三物料输送装置自动开启，所述设定值为550-650mV，优选为580-620mV。

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)蚀刻线产生的酸性蚀刻废液先溢流至废液储存装置，再通入阴极室，三室电解装置中的第一阳极室内含有硫酸溶液，阴极室内含有酸性蚀刻废液，电解时阳离子交换膜阻碍氯离子从阴极室进入第一阳极室；

(2)检测阴极室中Cu⁺和/或Cu²⁺浓度，所述Cu⁺和/或Cu²⁺浓度低于25-35g/L时，第二物料输送装置开启，将阴极室内电解液通入第二阳极室，并通过第一物料输送装置在阴极室内补充酸性蚀刻废液；

(3)检测第二阳极室内电解液的氧化还原电位，电解液的氧化还原电位提高到600mV以上时，第三物料输送装置自动开启，将第二阳极室中的电解液泵出，即得到再生酸性蚀刻液，所述再生酸性蚀刻液先泵入再生液储存装置，再循环至蚀刻线，形成闭环。

7.一种酸性蚀刻液闭环再生的系统装置，其特征在于，所述系统装置能够运行权利要求1～6任一项所述的酸性蚀刻液闭环再生的方法。