[发明专利]半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质

权利要求书

1.一种半导体制造系统，其特征在于，具有：

本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；

一台以上的远程操作终端，所述一台以上的远程操作终端经由网络来与所述半导体制造装置连接，显示所述装置画面；以及

控制装置，其基于显示所述装置画面的所述本地操作终端和所述远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，

其中，所述控制装置具有：

登录状态管理单元，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；

装置画面显示状态管理单元，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及

画面数据制作单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。

2.根据权利要求1所述的半导体制造系统，其特征在于，

所述控制装置还具有排它控制单元，所述排它控制单元基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态来对所述画面数据制作单元制作出的所述画面数据进行控制，以使所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端显示的所述装置画面不同。

3.根据权利要求2所述的半导体制造系统，其特征在于，

在所述本地操作终端处于登录的情况下，所述排它控制单元不制作从用户处接受包含所述半导体制造装置的动作的操作的所述装置画面的画面数据来作为向所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。

4.根据权利要求3所述的半导体制造系统，其特征在于，

在所述本地操作终端不处于登录的情况下，所述排它控制单元制作从用户处接受包含所述半导体制造装置的动作的操作的所述装置画面的画面数据，来作为向所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的半导体制造系统，其特征在于，

所述控制装置还具有：

操作信息判定单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态来判定能否针对所述半导体制造装置进行与从所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端接受到的操作信息相应的执行指示；以及

执行指示单元，在判定为能够针对所述半导体制造装置进行执行指示的情况下，所述执行指示单元针对所述半导体制造装置进行与所述操作信息相应的执行指示，来控制所述半导体制造装置。

6.根据权利要求5所述的半导体制造系统，其特征在于，

在与所述操作信息相应的执行指示同与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑有关的情况下，所述操作信息判定单元确认作为编辑对象的所述制程或参数的锁定状态，如果作为编辑对象的所述制程或参数不处于锁定状态，则判定为能够将所述制程或参数变更为锁定状态后进行与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑指示，若作为编辑对象的所述制程或参数为锁定状态，则判定为不能进行与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑指示。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的半导体制造系统，其特征在于，

所述控制装置还具有：

本地远程切换开关状态判定部，其判定用于选择所述本地操作终端和所述远程操作终端中的某一方的本地远程切换开关的状态；以及

远程操作切断单元，在所述本地远程切换开关状态判定部判定为所述本地远程切换开关被从选择所述远程操作终端的状态切换为选择所述本地操作终端的状态的情况下，所述远程操作切断单元使处于登录的所述远程操作终端退出。