[发明专利]接合装置

权利要求书

1.一种接合装置，其中，所述接合装置包括：

支撑件，在所述支撑件中限定多个通孔；

隔膜，设置在所述支撑件上以覆盖所述支撑件；

施压垫，设置在位于所述支撑件的顶表面上方的所述隔膜上；以及

窗固定卡盘，设置在所述施压垫上方，并且在所述窗固定卡盘中限定面对所述施压垫的凹槽，

其中，所述施压垫包括：

垫；和

至少一个支撑杆，设置在所述垫中并且在第一方向上延伸。

2.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述垫具有弹性，并且所述垫因外力而可变形。

3.根据权利要求2所述的接合装置，其中，所述垫包括硅。

4.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆具有大于所述垫的刚性的刚性。

5.根据权利要求4所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆包括金属。

6.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述垫在所述第一方向上延伸，并且当在所述第一方向上观察时，所述垫的顶表面具有在朝向所述凹槽的方向上凸出的曲面。

7.根据权利要求6所述的接合装置，其中，所述凹槽在所述第一方向上延伸，并且所述窗固定卡盘在所述凹槽的内端处具有凹曲面，并且所述凹曲面面对所述垫的所述曲面。

8.根据权利要求6所述的接合装置，其中，所述接合装置还包括布置在所述第一方向上的多个柱，

其中，所述支撑件和所述施压垫设置在所述柱之间，并且所述至少一个支撑杆在所述第一方向上比所述垫延伸得更多，且所述至少一个支撑杆连接到所述多个柱中的至少两个柱。

9.根据权利要求1所述的接合装置，其中，与所述第一方向交叉的方向被限定为第二方向，并且与由所述第一方向和所述第二方向限定的平面交叉的方向被限定为第三方向，并且

所述支撑件具有由所述第一方向和所述第三方向限定的板的形状。

10.根据权利要求9所述的接合装置，其中，在所述支撑件中限定在所述第三方向上延伸的至少一个腔，并且

所述通孔从所述至少一个腔延伸并且被限定在所述支撑件的两侧表面中，且所述两侧表面在所述第二方向上彼此相对。

11.根据权利要求9所述的接合装置，其中，所述窗固定卡盘在所述第三方向上移动，使得所述隔膜和所述施压垫设置在所述凹槽中。

12.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述隔膜经由通过所述通孔注入的空气朝向所述支撑件的外部膨胀。

13.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述接合装置还包括载台，

其中，所述支撑件和所述隔膜设置在所述载台上，并且所述隔膜覆盖所述支撑件并且连接到所述载台。

14.根据权利要求13所述的接合装置，其中，所述隔膜包括：

覆盖部，覆盖所述支撑件；和

连接部，从所述覆盖部的下端与所述载台平行地延伸并且连接到所述载台。

15.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述至少一个支撑杆包括：

第一支撑杆，在所述第一方向上延伸；和

第二支撑杆，在所述第一方向上延伸并且设置在所述第一支撑杆上方。

16.根据权利要求15所述的接合装置，其中，当在所述第一方向上观察时，所述第一支撑杆的截面具有与所述第二支撑杆的截面的尺寸不同的尺寸。