[发明专利]一种浸没式ArF光刻用光产酸剂及光刻胶组合物

权利要求书

1.一种如式I所示的化合物作为光产酸剂在光刻胶中的应用；

其中，R¹、R²、R³、R⁴和R⁵独立地为H、卤素、C_1-6烷基或-O-C_1-6烷基；

n为2或3；

A为S或I；

Y为

2.如权利要求1所述的应用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物满足如下1个或2个条件：

①R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中，所述的卤素为F、Cl、Br或I；

②R¹、R²、R³、R⁴和R⁵中，所述的C_1-6烷基和所述的-O-C_1-6烷基中的C_1-6烷基独立地为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基或叔丁基。

3.如权利要求1所述的应用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物满足如下1个或多个条件：

①R¹、R²、R³、R⁴和R⁵为H；

②n为3；

③A为S。

4.如权利要求1所述的应用，其特征在于，为

5.如权利要求1所述的应用，其特征在于，R¹、R²、R³、R⁴和R⁵为H；

n为3；

A为S；

Y为

6.如权利要求1所述的应用，其特征在于，所述的如式I所示的化合物为如下任一化合物：

7.一种光刻胶组合物，其包括如下原料：如权利要求1-6中任一项所述的如式I所示的化合物、如式(1)所示的树脂、碱性添加剂和溶剂；

8.如权利要求7所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述的光刻胶组合物满足如下1个或多个条件：

①所述的光刻胶组合物中，所述的如式I所示的化合物以重量份计的份数为2-10份；

②所述的光刻胶组合物中，所述的如式(1)所示的树脂以重量份计的份数为20-120份；

③所述的光刻胶组合物中，所述的如式(1)所示的树脂的重均分子量为8000-9000g/mol；

④所述的光刻胶组合物中，所述的碱性添加剂以重量份计的份数为0.1-1份；

⑤所述的光刻胶组合物中，所述的碱性添加剂为C_1-4烷基季铵碱；

⑥所述的光刻胶组合物中，所述的溶剂以重量份计的份数为500-2000份；

⑦所述的光刻胶组合物中，所述的溶剂为酯类溶剂。

9.如权利要求8所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述的光刻胶组合物满足如下1个或多个条件：

①所述的光刻胶组合物中，所述的如式I所示的化合物以重量份计的份数为4份；

②所述的光刻胶组合物中，所述的如式(1)所示的树脂以重量份计的份数为100份；

③所述的光刻胶组合物中，所述的如式(1)所示的树脂的重均分子量为8500g/mol；

④所述的光刻胶组合物中，所述的碱性添加剂以重量份计的份数为0.5份；

⑤所述的光刻胶组合物中，所述的碱性添加剂为四甲基氢氧化铵；

⑥所述的光刻胶组合物中，所述的溶剂以重量份计的份数为1000份；

⑦所述的光刻胶组合物中，所述的溶剂为丙二醇甲醚乙酸酯。

10.如权利要求7-9任一项所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述的光刻胶组合物由如下原料组成：所述的如式I所示的化合物、所述的树脂、所述的碱性添加剂和所述的溶剂。