[发明专利]一种ArF光源干法光刻用多鎓盐型光产酸剂的制备方法

权利要求书

1.一种鎓盐的制备方法，其特征在于，所述鎓盐的制备方法包括以下步骤：在溶剂中，将式(II)所示的化合物与式(A-1)所示的化合物或式(B-1)所示的化合物进行成盐反应，得到所述鎓盐；

所述鎓盐具有阴离子和鎓离子，所述阴离子具有式(I)所示的结构，所述鎓离子具有式(A)或式(B)所示的结构，所述鎓离子的个数使所述鎓盐的电荷保持中性；

其中，M⁺为Li⁺、Na⁺或K⁺；

Hal^-为F^-、Cl^-、Br^-或I^-；

R¹、R²、R³和R⁴分别独立地为H或F；

L¹和L²为其中a端与苯环相连；

p和q分别独立地为0、1、2、3或4；

X为其中

n1、n2和n3分别独立地为1、2、3、4或5；

m1、m2和m3分别独立地为0、1、2、3或4；

R^a和R^b分别独立地为卤素、C_1-20烷基或C_1-20烷氧基；R^a和R^b的个数分别独立地为0至5个；

z为(p+q+2+n1×m1)、(p+q+2+n2×m2)或(p+q+2+n3×m3)。

2.如权利要求1所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，

M⁺为Na⁺；

和/或，Hal^-为Cl^-；

和/或，R¹、R²、R³和R⁴相同；

和/或，p和q相同；

和/或，结构单元为

和/或，n1为2；

和/或，n2为1；

和/或，n3为1或2；

和/或，m1为1；

和/或，m2为0或2；

和/或，m3为1。

3.如权利要求1所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，

结构单元为

和/或，为

和/或，为

和/或，为

4.如权利要求3所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，

为

和/或，为

和/或，为

5.如权利要求1至4中任一项所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，所述阴离子具有式(I-1)、式(I-2)、式(I-3)或式(I-4)所示的结构，

其中，R¹、R²、R³、R⁴、L¹、L²、m1、m2、m3、n1、n2、n3、p和q的定义如权利要求1至4中任一项所述。

6.如权利要求1所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，所述阴离子为以下任一结构：

和/或，所述鎓离子为：

7.如权利要求6所述的鎓盐的制备方法，其特征在于，所述鎓离子为