[发明专利]一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法有效
| 申请号： | 202110979509.5 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113562702B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 马建修;靖宇;杜文东 | 申请（专利权）人： | 福建福豆新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/56 | 分类号： | C01B17/56 |
| 代理公司： | 苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙) 32438 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 354000 福建省南*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 电子 二氧化硫 提纯 方法 | ||
1.一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，其包括以下步骤：
水洗：三级水洗深度脱除硫化氢与三氧化硫；
脱水：以氧化铝为吸附剂进行深度脱水；
过滤：高效过滤脱除残留物、金属氧化物颗粒和硫酸盐；
精馏：以液氮为冷媒的二级精馏脱除轻组分和重组分。
2.根据权利要求1所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，在所述过滤步骤之后，所述精馏步骤之前还包括变压吸附：变压吸附脱除二氧化碳。
3.根据权利要求2所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述变压吸附的工艺参数：0.1 MPa和0.8MPa高低压变换，变换频率为30s-60s，吸附剂为4A硅铝分子筛、温度为室温至80℃，空速为200-400/h。
4.根据权利要求3所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，在所述变压吸附步骤之后，所述精馏步骤之前还包括深度脱氧。
5.根据权利要求4所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述深度脱氧的工艺参数：脱氧剂为金属铜基，空速为200-400/h，温度为室温至80℃，压力为0.1-0.4MPa。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述三级水洗采用饱和SO2水溶液进行。
7.根据权利要求6所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述三级水洗的工艺参数：喷淋密度为200-400 m3/m2*h，温度为室温至70℃，压力为0.1-0.4MPa。
8.根据权利要求1-5任一项所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述脱水的工艺参数：空速为300-500/h，温度为室温至70℃，压力为0.1-0.4MPa。
9.根据权利要求1-5任一项所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述二级精馏的温度分别为T1、T2，压力分别为P1、P2，液氮质量流量分别为N1、N2，回流分别为R1、R2；其中，5℃≤T2 T1≤26℃，0.2MPa≤P2 P1≤0.4MPa，10≤R1≤30，10≤R2≤30，N1≠N2；N1N2时，所述二级精馏的第一精馏塔去除重组分，第二精馏塔去除轻组分；N1N2时，所述二级精馏的所述第一精馏塔去除轻组分，所述第二精馏塔去除重组分。
10.根据权利要求1-5任一项所述的一种高纯电子级二氧化硫的提纯方法，其特征在于，所述高效过滤在滤芯滤径小于0.05 um、滤芯截留面积大于2000m2的高效过滤器中进行。
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