[发明专利]软磁复合材料及其制备方法

权利要求书

1.一种制备软磁复合材料的方法，包括：

制备软磁材料的易面磁粉，所述磁粉具有易磁化面；

将所述软磁材料的易面磁粉和粘结材料按预定配比制成混合浆料；

在外磁场中使所述混合浆料中的易面磁粉的易磁化面取向为沿所述外磁场平行排列；以及

对所述混合浆料进行干燥和热压处理，以制成软磁复合材料，

其中，制备软磁材料的易面磁粉包括：

制备软磁材料的微颗粒；

对所述软磁材料的微颗粒进行热处理以消除应力；

对所述软磁材料的微颗粒进行球磨处理以制备易面磁粉；以及

对所述软磁材料的易面磁粉进行洗涤、过滤和干燥；或者，

制备软磁材料的易面磁粉包括：

在衬底上沉积牺牲层；

在所述牺牲层上沉积软磁材料层；

刻蚀所述软磁材料层以将其分成具有期望尺寸的多个区域；

去除所述牺牲层以从所述衬底剥离所述软磁材料层，获得所述软磁材料的易面磁粉；以及

对所述软磁材料的易面磁粉进行洗涤、过滤和干燥。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述软磁材料是Fe_1-xNi_x，x在0.35至0.9的范围内。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述软磁复合材料中所述软磁材料的易面磁粉内磁矩的平面取向度大于95％。

4.如权利要求1所述的方法，其中，所述软磁材料的易面磁粉的径厚比为40-150。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述粘结材料包括聚氨酯、环氧树脂、聚酰亚胺中的一种或多种。

6.如权利要求1所述的方法，其中，在所述混合浆料中，所述软磁材料的易面磁粉占所述软磁材料的易面磁粉和所述粘结材料总体积的30％至65％。

7.如权利要求1所述的方法，其中，所述软磁材料的微颗粒具有10-50μm的粒径。

8.如权利要求1所述的方法，其中，对所述软磁材料的微颗粒进行热处理的热处理温度在250℃至500℃的范围内。

9.如权利要求1所述的方法，其中，所述牺牲层包括铝层，去除所述牺牲层包括用碱溶液腐蚀所述铝层。

10.如权利要求8所述的方法，其中，所述碱溶液包括氢氧化钠溶液和氢氧化钾溶液中的一种或多种。

11.如权利要求1所述的方法，其中，在向所述混合浆料施加所述外磁场以使所述易面磁粉的易磁化面平行排列的同时，对所述混合浆料进行干燥处理。

12.如权利要求1所述的方法，其中，对干燥后的混合浆料进行热压处理包括沿与所述易面磁粉的易磁化面垂直的方向进行挤压。

13.一种软磁复合材料，其由权利要求1至12中的任一项所述的方法制备而成。

14.一种电子器件，包括由权利要求13所述的软磁复合材料制成的绝缘磁性部件。