[发明专利]一种流控重构超表面及其制造方法

权利要求书

1.流控重构超表面，其特征在于，包括密封层、柔性介质层、驱动控制层和电磁反射层，所述密封层、所述柔性介质层、所述驱动控制层和所述电磁反射层按顺序层叠设置，所述柔性介质层上阵列设置有多个微流道结构，所述微流道结构中具有供液态金属流动的流动通道，所述电磁反射层用于电磁波的反射，所述驱动控制层用于控制液态金属在所述流动通道中的流动位置及形状；其中，每个所述微流道结构的流动通道的形状为类“工”字形。

2.如权利要求1所述的流控重构超表面，其特征在于，所述流动通道包括第一水平流道、第二水平流道和竖直流道，所述第一水平流道包括第一水平段、第一竖直段和第二竖直段，所述第二水平流道包括第二水平段、第三竖直段和第四竖直段，所述第一水平段和所述第二水平段平行设置且所述第一水平段和所述第二水平段之间通过所述竖直流道连通，所述第一水平段和所述第二水平段沿所述竖直流道的水平中心线上下对称设置，所述第一竖直段和所述第二竖直段沿所述竖直流动的竖直中心线左右对称设置，所述第一竖直段和所述第三竖直段在竖直方向对应，所述第二竖直段和所述第四竖直段在竖直方向对应，所述第一竖直段和所述第三竖直段的长度和小于所述竖直流道的长度。

3.如权利要求2所述的流控重构超表面，其特征在于，所述驱动控制层控制所述流动通道内液体金属的形状沿所述竖直流道的水平中心线上下对称并沿所述竖直流道的竖直中心线左右对称。

4.如权利要求1所述的流控重构超表面，其特征在于，所述柔性介质层的材料为PDMS、PMMA或PET。

5.如权利要求1所述的流控重构超表面，其特征在于，所述驱动控制层控制液态金属在所述微流道结构中的流动控制方式包括电磁、电压和/或压力。

6.如权利要求5所述的流控重构超表面，其特征在于，所述驱动控制层包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极通过导电液与所述微流道结构的流动通道中液态金属电性连接，根据所述第一电极和所述第二电极上施加电压大小来动态调节液态金属在所述微流道结构的流动通道中的流动位置及形状。

7.如权利要求5所述的流控重构超表面，其特征在于，所述导电液为酸性或碱性溶液，并且所述导电液在液态金属之前注入所述微流道结构的流动通道中。

8.如权利要求7所述的流控重构超表面，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极形成于所述驱动控制层中，所述柔性介质层中设置有与所述流动通道连通的通孔，所述第一电极和所述第二电极引线穿过所述通孔与液态金属电性连接。

9.如权利要求1所述的流控重构超表面，其特征在于，所述电磁反射层的材料为金属。

10.流控重构超表面的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)在柔性介质层上形成多个微流道结构形成的阵列；其中，所述微流道结构中具有供液态金属流动的流动通道，所述流动通道的形状为类“工”字形；

2)在每个所述微流道结构的流动通道中分别注入液态金属；

3)在柔性介质层上封装密封层；

4)在柔性介质层下形成驱动控制层；

5)在所述驱动控制层下设置电磁反射层。