[发明专利]一种声波器件及其制备方法

权利要求书

1.一种声波器件，其特征在于，包括由下至上依次层叠的支撑衬底(1)、压电薄膜(3)和叉指电极结构(4)；

所述支撑衬底(1)上设有能量反射结构(2)；

所述叉指电极包括第一汇流条(41)、第二汇流条(43)、第一叉指电极(42)和第二叉指电极(44)；

所述第一叉指电极(42)包括第一圆弧段(451)；所述第一圆弧段(451)的一端与所述第一汇流条(41)连接；

所述第二叉指电极(44)包括第二圆弧段(461)；所述第二圆弧段(461)的第一端与所述第二汇流条(43)连接；

所述第一圆弧段(451)与所述第二圆弧段(461)共圆心。

2.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述第一叉指电极(42)包括至少两个间隔设置的上叉指电极(45)；所述上叉指电极(45)包括所述第一圆弧段(451)；

所述第二叉指电极(44)包括至少两个间隔设置的下叉指电极(46)；所述下叉指电极(46)包括所述第二圆弧段(461)；

相邻的两个所述上叉指电极(45)之间置有一个所述下叉指电极(46)；

相邻的所述上叉指电极(45)与所述下叉指电极(46)之间的距离相等。

3.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，所述上叉指电极(45)还包括与所述第一圆弧段(451)连接的第三圆弧段(452)；

所述下叉指电极(46)还包括与所述第二圆弧段(461)连接的第四圆弧段(462)；

所述第三圆弧段(452)与所述第四圆弧段(462)共圆心；

所述第三圆弧段(452)与所述第四圆弧段(462)之间的距离相等。

4.根据权利要求3所述的声波器件，其特征在于，所述上叉指电极(45)还包括第一直线段(453)和第二直线段(454)；

所述第一直线段(453)、所述第一圆弧段(451)、所述第三圆弧段(452)和所述第二直线段(454)依次连接；所述第一直线段(453)的端部与所述第一汇流条(41)连接；

所述下叉指电极(46)还包括第三直线段(463)和第四直线段(464)；

所述第三直线段(463)、所述第四圆弧段(462)、所述第二圆弧段(461)和所述第四直线段(464)依次连接；所述第三直线段(463)与所述第二汇流条(43)连接；

相邻的所述第一直线段(453)与所述第四直线段(464)之间的距离相等，相邻的所述第二直线段(454)与所述第三直线段(463)之间的距离相等。

5.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述能量反射结构(2)为设于所述支撑衬底(1)上的孔。

6.根据权利要求5所述的声波器件，其特征在于，所述孔为埋孔；

所述埋孔的开口朝向所述压电薄膜(3)；且所述压电薄膜(3)上设有刻蚀通孔(5)；或者，所述埋孔的开口朝向为远离所述压电薄膜(3)的方向。

7.根据权利要求5所述的声波器件，其特征在于，所述孔为通孔；

所述通孔与所述叉指电极结构(4)相对应，以使所述叉指电极结构(4)对应的所述压电薄膜(3)的区域悬空。

8.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述能量反射结构(2)为布拉格反射层，且位于所述支撑衬底(1)和所述压电薄膜(3)之间；

所述布拉格反射层包括交替层叠的低声阻抗层(21)和高声阻抗层(22)。

9.根据权利要求6所述的声波器件，其特征在于，还包括介质层；

所述介质层位于所述支撑衬底(1)与所述压电薄膜(3)之间，或者，所述介质层位于所述叉指电极结构(4)上。

10.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述压电薄膜(3)的晶体切型为Z切；

所述压电薄膜(3)的材料包括铌酸锂或者钽酸锂。

11.一种声波器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一压电薄膜(3)结构；由下至上依次层叠的支撑衬底(1)、压电薄膜(3)和叉指电极结构(4)；所述支撑衬底(1)上设有能量反射结构(2)；

在所述压电薄膜(3)上制备叉指电极结构(4)，得到所述声波器件，所述叉指电极包括第一汇流条(41)、第二汇流条(43)、第一叉指电极(42)和第二叉指电极(44)；所述第一叉指电极(42)包括第一圆弧段(451)；所述第一圆弧段(451)的一端与所述第一汇流条(41)连接；所述第二叉指电极(44)包括第二圆弧段(461)；所述第二圆弧段(461)的第一端与所述第二汇流条(43)连接；所述第一圆弧段(451)与所述第二圆弧段(461)共圆心；且所述第一圆弧段(451)与所述第二圆弧段(461)之间的距离相等。