[发明专利]一种集成介质光波导的光吸收器和光吸收芯片

权利要求书

1.一种集成介质光波导的光吸收器，其特征在于，包括：

波导包层，所述波导包层全包围介质光波导核心和吸收材料层；

介质光波导核心，所述介质光波导核心包括第一端部和第二端部，所述介质光波导核心的径向尺寸从所述第一端部到所述第二端部逐渐变小；所述介质光波导核心在空间上呈螺旋状设置或呈折叠环状设置；

吸收材料层，位于所述介质光波导核心上层，或位于所述介质光波导核心侧方，又或者位于所述介质光波导核心下层；

所述吸收材料层为金属或硅；所述硅通过离子注入工艺掺杂形成PN结或PIN结；所述PN结或PIN结用于通过加反偏电压将光吸收后转换成的自由载流子移走；所述介质光波导核心的一侧或两侧设有所述吸收材料层。

2.根据权利要求1所述的光吸收器，其特征在于，所述介质光波导核心的形状为锥形或者楔形。

3.一种光吸收芯片，其特征在于，包括偏振旋转器和如权利要求1至2任一项所述的光吸收器；

所述偏振旋转器，用于将输入的横电场TE模偏振光旋转90度转换成横磁场TM模偏振光，并输出所述TM偏振光；

所述光吸收器，用于吸收所述TM偏振光。