[发明专利]第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备

权利要求书

1.一种第三代半导体的生产设备节能方法，其特征在于，所述生产设备节能方法包括：

获取生产设备的历史电力数据；

基于所述历史电力数据，构建用于评价生产设备节能的多个评价指标；

将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；

基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。

2.根据权利要求1所述的生产设备节能方法，其特征在于，所述基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节包括：

基于所述综合指标，确定所述生产设备的节能调节参数；

基于所述节能调节参数，对所述生产设备进行节能调节。

3.根据权利要求1所述的生产设备节能方法，其特征在于，所述将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标包括：

对所述多个评价指标进行向量处理，得到多个评价指标向量；

基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行矩阵运算，得到特征值及特征向量；

按照预置判断规则，对所述特征值及所述特征向量进行主成分指标判断，得到多个主成分指标；

对各所述主成分指标进行加权运算，得到多个综合指标。

4.根据权利要求3所述的生产设备节能方法，其特征在于，所述基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行相关系数运算，得到特征值及特征向量包括：

基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的初始矩阵；

对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵；

基于所述正交矩阵，构建用于评价所述生产设备节能的协方差矩阵；

对所述协方差矩阵进行特征分解，得到特征值及特征向量。

5.根据权利要求4所述的生产设备节能方法，其特征在于，所述对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵包括：

对所述初始矩阵进行分割，得到多个维数相同的单元矩阵；

按照向量长度不变规则，对各所述单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。

6.根据权利要求1所述的生产设备节能方法，其特征在于，在所述基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节之后，还包括：

将调节后的所述生产设备的电力数据反馈至预置电力管理数据库；

将所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，并将实时比对的结果传输至大屏进行看板监管。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的生产设备节能方法，其特征在于，所述生产设备的历史电力数据包括：电力负荷历史数据、日最高温度耗电历史数据、日最低温度耗电历史数据、制造商提供的电力相关参数数据、所述生产设备实时运行的实时用电数据、所述生产设备实时消耗功率数据。

8.一种第三代半导体的生产设备节能装置，其特征在于，所述生产设备节能装置包括：

数据获取模块，用于获取生产设备的历史电力数据；

指标构建模块，用于基于所述历史电力数据，构建评价生产设备节能的多个评价指标；

回归分析模块，用于将所述评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；

节能调节模块，用于基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。

9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：存储器和至少一个处理器，所述存储器中存储有指令；

所述至少一个处理器调用所述存储器中的所述指令，以使得所述电子设备执行如权利要求1-7中任一项所述的生产设备节能方法。

10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有指令，其特征在于，所述指令被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的生产设备节能方法。