[发明专利]一种适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂及其应用

权利要求书

1.一种适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，由护岸剂、湿润剂和水组成，所述湿润剂为饱和脂肪族二醇、饱和脂肪族三醇、乙醇酸、羧酸中的一种或几种，其组分浓度为100-3000ppm；所述护岸剂为结构式成分中的一种或几种，其组分浓度为5-200ppm；其中，A为碳原子或氮原子，R₁为H、含碳数为1-4的烷基、苯基、4-卤素取代苯基、2-吡咯基、3-吡咯基、咪唑基、吡啶基、吡嗪基中的一种，R₂为H、含碳数为1-6的烷基、苯基、4-卤素取代苯基、2-吡咯基、3-吡咯基、咪唑基、吡啶基、吡嗪基中的一种；该酸性蚀刻添加剂适用于线宽为40μm以下、线距为40μm以下的成品细线路。

2.如权利要求1所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述护岸剂的组分浓度为10-100ppm。

3.如权利要求2所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述护岸剂的组分浓度为20-50ppm。

4.如权利要求1所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述湿润剂的组分浓度为200-1500ppm。

5.如权利要求4所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述湿润剂的组分浓度为400-800ppm。

6.如权利要求1至5任一所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述卤素为氯或溴；所述湿润剂的碳原子数为2-4，分子量小于等于100。

7.一种权利要求1至6任一所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂的应用，其特征在于，应用于盐酸-氯化铜蚀刻体系；与所述盐酸-氯化铜蚀刻体系匹配的氧化剂为氯酸钠；所述氯酸钠的组分浓度为200-300g/L，所述盐酸的组分浓度为1-3mol/L，所述氯化铜的组分浓度为240-300g/L。

8.如权利要求7所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，蚀刻时，线速度控制在3.5-4m/min。

9.如权利要求8所述的适用于细线路制作的环保型酸性蚀刻添加剂，其特征在于，所述氯酸钠置于副槽内。