[发明专利]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，用于清洗晶圆，其特征在于，包括工作台、旋转夹紧组件和清洗组件；

所述晶圆设于所述工作台上；

所述旋转夹紧组件设于所述工作台上，所述旋转夹紧组件具有至少三个旋转端，至少三个所述旋转端沿所述晶圆周向均匀设置且转动方向均相同，至少三个所述旋转端与所述晶圆的薄边抵触，用于驱动所述晶圆沿其轴线方向转动；

所述清洗组件包括一水平设置的清洗刷，所述清洗刷与所述工作台转动连接，所述清洗刷贴于所述晶圆的表面设置，所述清洗刷内部具有一空腔，所述空腔与所述清洗刷的外表面相连通，所述清洗刷经由一旋转接头使所述空腔外接清洗介质，通过浸湿的所述清洗刷的旋转以清洗所述晶圆；

所述清洗刷包括清洗刷轴和清洗刷筒，所述清洗刷轴与所述工作台转动连接，所述清洗刷筒同轴套设于所述清洗刷轴上，所述清洗刷筒与所述晶圆的外表面抵触，所述清洗刷轴的内部设置有所述空腔，所述清洗刷轴的一端连接有旋转接头，所述清洗刷轴的外壁上开设有与所述空腔相连通的注水孔组，所述清洗介质依次经由旋转接头、空腔和注水孔组以润湿清洗刷筒；

所述清洗刷筒的外壁上开设有多个冲洗孔组，多个所述冲洗孔组沿所述清洗刷筒周向均匀布置，每个所述冲洗孔组均包括沿所述清洗刷筒的长度方向等间距设置的多个冲洗孔；

所述注水孔组的数量为多个，多个所述注水孔组沿所述清洗刷轴周向均匀设置，每个所述注水孔组均包括沿所述清洗刷轴的长度方向等间距设置的多个注水孔，所述注水孔组的数量大于所述冲洗孔组的数量；

部分注水孔组被海绵层挡住，部分注水孔组与冲洗孔相连通。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，至少三个所述旋转端均为一滚轮，至少三个所述滚轮均沿平行所述工作台的平面内转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述滚轮均经由一旋转件与所述工作台转动连接，所述旋转件包括外壳、第一驱动件、联轴器和转轴，所述外壳与所述工作台连接，所述第一驱动件内置于所述外壳中，所述第一驱动件经由所述联轴器与所述转轴连接，所述转轴与所述外壳转动连接，所述转轴垂直于所述工作台设置，所述滚轮套设于所述转轴上。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述外壳经由一滑动件与所述工作台滑动连接，所述滑动 件包括底座和第二驱动件，底座与所述工作台滑动连接，所述外壳与所述底座固定连接，所述第二驱动件固定设于所述工作台上，所述第二驱动件的输出端与所述底座连接，以驱动所述滚轮朝靠近或远离所述晶圆的圆心方向移动。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗刷筒为海绵层结构。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗组件包括一转动件和进水件，所述转动件的输出端与所述清洗刷轴的一端连接，以驱动所述清洗刷轴转动，所述进水件的出液端经由所述旋转接头与所述清洗刷轴的另一端连接，所述出液端与所述空腔相连通，用于往所述空腔中注入清洗介质。

7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，该装置还包括一移动组件，所述移动组件固定设于所述工作台上，所述移动组件的移动端与所述清洗刷连接，以用于驱动所述清洗刷朝靠近或远离所述晶圆的外表面方向移动；

所述移动组件包括支撑架和顶升件，所述清洗刷与所述支撑架转动连接，所述顶升件固定设于所述工作台上，所述顶升件的输出端与所述支撑架连接；

所述移动组件还包括相对设置所述顶升件两侧的两个限位件，两个所述限位件均包括限位杆和套筒，所述套筒与所述工作台固定连接，所述限位杆的顶端与所述支撑架固定连接，所述限位杆的底端与所述套筒滑动连接。