[发明专利]崩环回收架

说明书

本发明涉及半导体物料存储技术领域，本发明提供一种崩环回收架，包括：底座机构，包括基座；第一限位机构，包括设于多个支撑件，多个所述支撑件的底端均固定于所述基座上，多个所述支撑件的轴线方向均与所述基座的主表面垂直，多个所述支撑件用于限位于崩环内圆边沿处。本发明提供的崩环回收架，通过设置限位于崩环内圆边沿处的多个支撑件，对晶圆崩环起到暂存收纳作用，同时基座边沿对较薄的晶圆崩环起到物理防护作用。

技术领域

本发明涉及半导体物料存储领域，特别涉及崩环回收架。

背景技术

如图1-2所示，在半导体行业，当晶圆上的芯片10被设备自动取片，手工去掉UV膜20后，晶圆崩环30需要进行回收。由于晶圆崩环为3毫米左右形状不规则的不锈钢片，内圆31为完整的圆形，外边沿不规则，包括四个平直边沿321以及两个形状不同的豁口322，直接进行回收暂存不便，为了避免或减少在回收存放过程中晶圆崩环变形导致报废，同时方便回收与统计，需要设计专门的崩环回收架对晶圆崩环进行暂存收纳。

发明内容

本发明实施例提供崩环回收架，以解决对厚度较薄形状不规则的晶圆崩环的暂存收纳不便的技术问题。

本发明提供一种崩环回收架，包括：

底座机构，包括基座；

第一限位机构，包括设于多个支撑件，多个所述支撑件的底端均固定于所述基座上，多个所述支撑件的轴线方向均与所述基座的主表面垂直，多个所述支撑件用于限位于崩环内圆边沿处。

一些实施例中，所述基座的底面设有螺纹孔以及与所述螺纹孔相贯通的沉槽孔，多个所述支撑件的底端面设有螺钉孔，所述沉槽孔和所述螺纹孔用于穿过螺钉杆螺接于所述螺钉孔中，所述沉槽孔用于限位螺钉头。

一些实施例中，所述基座的顶面设有多个限位槽，多个所述支撑件和多个所述限位件均固定对应的限位槽中。

一些实施例中，多个所述支撑件均为圆柱杆件。

一些实施例中，多个所述支撑件均为中空圆柱杆件。

一些实施例中，所述基座为钢板件。

一些实施例中，所述支撑件的数量为四个，分别沿着所述基座的中心为圆心等径等圆心角均匀间隔分布。

一些实施例中，还包括第二限位机构，所述第二限位机构包括至少一对限位件，一对所述限位件位于相向设置的一对所述支撑件的两侧，分别用于限位于崩环的两侧平直外边沿处。

一些实施例中，所述基座上开设有两个缺口，两个所述缺口位于相向设置的另一对所述支撑件的两侧。

一些实施例中，一对所述限位件和对应的一对所述支撑件沿着同一条直线间隔分布。

本发明提供的技术方案带来的有益效果包括：

本发明提供的崩环回收架，通过设置限位于崩环内圆边沿处的多个支撑件，对晶圆崩环起到暂存收纳作用，同时基座边沿对较薄的晶圆崩环起到物理防护作用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为晶圆的结构示意图；

图2为晶圆崩环的结构示意图；

图3为本发明提供的崩环回收架的结构示意图；

图4为本发明提供的基座的底面结构示意图；

图5为本发明提供的基座的正面结构示意图。

图中：