[发明专利]一种硅片检测装置在审

专利信息
申请号: 202110997705.5 申请日: 2021-08-27
公开(公告)号: CN113758930A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 卢亚宾;曹深深;云宏霞;张聪;梁坤 申请(专利权)人: 博众精工科技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/89;G01N21/84
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 王亚琼
地址: 215200 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 检测 装置
【说明书】:

发明涉及硅片检测技术领域,公开了一种硅片检测装置。硅片检测装置包括传送单元、采集件、红外光源和调节组件。传送单元用于沿传送方向传送硅片;采集件和红外光源分别置于传送单元垂直于传送方向的两侧,红外光源发出的光线能够穿过硅片后到达采集件的采集端;调节组件设置有两个,两个调节组件分别连接于采集件和红外光源,调节组件能够调整采集件或红外光源的角度。本发明扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围,保证了成像效果,提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到的图像上的清晰程度,保证了检测结果的准确度。

技术领域

本发明涉及硅片检测技术领域,尤其涉及一种硅片检测装置。

背景技术

随着科技的发展,带来全球光伏行业的兴起。其中硅片是光伏产业重要材料之一,作为太阳能电池片的载体,硅片的质量的好坏决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此检测硅片上的隐裂等缺陷是制作电池片的重要环节。

随着工业技术的发展,硅片生产线的速度不断提升,人工检测在速度上存在限制,无法跟上生产线的速度。因此机器视觉检测代替人工检测势在必行,利用高速触发摄像机对生产线上的硅片进行摄像,通过图像处理技术进行分析,检测出带有缺陷的硅片。现有技术中,用于检测硅片隐裂的装置成像效果较差,不能清晰的在图像上显示,不能保证硅片检测结果的准确性。

基于此,亟需一种硅片检测装置用来解决如上提到的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片检测装置,扩大了采集件与红外光源之间的相对角度的调节范围,保证了成像效果,提高了硅片上的隐裂等缺陷在采集到的图像上的清晰程度,保证了检测结果的准确度。

为达此目的,本发明采用以下技术方案:

一种硅片检测装置,包括:

传送单元,用于沿传送方向传送硅片;

采集件;

红外光源,所述采集件和所述红外光源分别置于所述传送单元垂直于所述传送方向的两侧,所述红外光源发出的光线能够穿过所述硅片后到达所述采集件的采集端;

调节组件,设置有两个,两个所述调节组件分别连接于所述采集件和所述红外光源,所述调节组件能够调整所述采集件或所述红外光源的角度。

作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述调节组件包括基座和转动件,所述采集件或所述红外光源连接于所述转动件上,所述转动件上设置有转轴,所述转轴转动穿设于所述基座,所述转动件上开设有弧形槽,所述弧形槽的圆心位于所述转轴的轴线上,所述基座朝向所述转动件的一侧设置有凸起,所述凸起至少部分位于所述弧形槽内,且所述凸起能够沿所述弧形槽滑动。

作为一种硅片检测装置的可选技术方案,至少一个所述调节组件包括滑座,所述转动件上开设有滑槽,所述滑槽沿所述弧形槽的径向方向延伸,对应的所述采集件或所述红外光源连接于所述滑座,所述滑座能够沿所述滑槽滑动,以使对应的所述采集件或所述红外光源能够靠近或远离所述传送单元。

作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述硅片检测装置还包括移动组件,所述移动组件设置有两个,两个所述移动组件与两个所述调节组件一一对应可拆卸连接,所述移动组件能够带动所述采集件或所述红外光源靠近或远离所述传送单元。

作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述移动组件包括滑轨、移动板和驱动件,所述滑轨垂直于所述传送方向设置,所述移动板与所述滑轨滑动配合,所述驱动件连接于所述移动板,所述驱动件能够驱动所述移动板沿所述滑轨滑动,所述移动板连接于所述调节组件。

作为一种硅片检测装置的可选技术方案,所述采集件和所述硅片之间的成像光路与所述红外光源发出的光源光路之间呈夹角设置,且所述成像光路、所述光源光路以及所述硅片能够相交于同一点。

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