[发明专利]机台联动性的监控方法及监控系统

权利要求书

1.一种机台联动性的监控方法，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：

选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；

基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；

根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。

2.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。

3.根据权利要求1或2所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。

4.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述机台联动性的监控方法还包括：将计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。

5.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，计算任意两个所述机台之间的相关系数之前，所述机台联动性的监控方法还包括：计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进而计算协方差。

6.一种机台联动性的监控系统，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：

数据获取模块，其被配置为选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；

数据处理模块，其被配置为基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；

数据调整模块，其被配置为根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。

7.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据调整模块包括条件配置单元，所述条件配置单元用于配置所述预设条件，使得所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。

8.根据权利要求6或7所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据调整模块包括判断调整单元，所述判断调整单元用于在所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。

9.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据处理模块包括矩阵形成单元，所述矩阵形成单元用于根据计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。

10.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据处理模块预处理单元，所述预处理单元用于计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进而计算协方差。