[发明专利]一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法及其覆铜衬板

权利要求书

1.一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

在蓝宝石晶体的表面通过吹洒的方式均匀涂覆质量比为99.9：0.1氧化铝和碳酸钙混合粉末，并在1500～2000℃高温下烧结30～60min，形成混合粉末附着层；

在混合粉末附着层表面将粘度为100～300mPa·s的活性金属钎焊料均匀涂抹于蓝宝石晶体基板的表面，并在80～100℃条件下干燥5～15min，得到活性金属钎焊料层；

将铜箔经预处理后，在活性金属钎焊料层的表面烧结形成铜层，在压强为5×10⁴Pa，升温速率为2～10℃/min，升温至800～1000℃下烧结10～60min，降温速率为5～20℃/min，降至室温后最终形成蓝宝石晶体覆铜衬板。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法，其特征在于，所述蓝宝石晶体为C-Plane蓝宝石晶体、R-Plane蓝宝石晶体或M-Plane蓝宝石晶体。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法，其特征在于，所述活性金属钎焊料为银浆料、铜浆料或钙浆料。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法，其特征在于，所述银浆料包括88％银纳米粉末、5％增稠剂、4％增塑剂、2％助剂和1％有机溶剂；

铜浆料包括84％铜纳米粉末、5％增塑剂、6％助剂和5％有机溶剂；

钙浆料包括92％钙纳米粉末、3％增稠剂、3％增塑剂和2％有机溶剂；

所述增稠剂原料为甲基丙烯酸、聚乙二醇、硬脂酸、海藻酸钠、二氧化硅、纤维素醚和膨润土中的一种或多种；

所述增塑剂原料为苯甲酸酯、二丙二醇二苯甲酸酯、二乙二醇二苯甲酸酯和柠檬酸三丁酯中的一种或多种；

所述助剂原料为硅藻土粘土、羟甲基丙烯酰胺、过硫酸钾、碳酸氢铵和氨基硅油中的一种或多种；

所述有机溶剂原料为苯醚结构脂肪酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯、己二酸二甲酯和硅油中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体覆铜衬板的制作方法，其特征在于，所述铜箔预处理在80℃条件下，使用含量为10wt％的氢氧化钠溶液浸泡铜箔15～20min，蒸馏水清洗两次；再在室温20～30℃下，使用含量为10wt％的硫酸溶液浸泡2～3min，蒸馏水清洗两次，吹干。

6.一种基于权利要求1～5任一项所述方法制作得到的蓝宝石晶体覆铜衬板。