[发明专利]适配于无尘真空车间的微型电子巡检系统及其巡检设备

权利要求书

1.适配于无尘真空车间的微型电子巡检设备，包括车间主体(1)和栓接固定在车间主体(1)顶部的自走轨道(2)，其特征在于：所述自走轨道(2)的表面活动设置有空中检测模块(4)，所述空中检测模块(4)包括轨道检测模块(41)，所述轨道检测模块(41)的底部设有巡航检测模块(42)，所述轨道检测模块(41)的底部外侧设有检测吊舱(43)，所述车间主体(1)的内部底面设有底部检测模块(3)，所述底部检测模块(3)包括地面检测模块(31)和独立检测模块(32)。

2.根据权利要求1所述的适配于无尘真空车间的微型电子巡检设备，其特征在于：所述地面检测模块(31)包括检测壳体(3101)和移动模块(3102)，所述检测壳体(3101)的侧面四个拐角分别和移动模块(3102)轴接，且移动模块(3102)均采用伺服电机驱动，所述检测壳体(3101)的正面设有主控制面板(3103)和信号收发器(3104)，所述检测壳体(3101)的顶部表面端部栓接固定有位置定位器(3105)，所述检测壳体(3101)的顶面中部栓接固定有升降平台(3107)，且升降平台(3107)采用气压升降杆，所述升降平台(3107)的顶部设有稳定云台(3108)，所述稳定云台(3108)的两侧分别轴接有视觉摄像头(3106)和数据采集舱(3109)。

3.根据权利要求1所述的适配于无尘真空车间的微型电子巡检设备，其特征在于：所述独立检测模块(32)包括和地面检测模块(31)表面嵌合的检测主体(3201)，所述检测主体(3201)的顶部边缘设有检测元件(3204)，所述检测主体(3201)的正面顶部嵌合有信号面板(3203)和控制面板(3202)，所述检测主体(3201)的地面轴接有移动轮(3205)，所述检测主体(3201)的地面侧缘嵌合有耐磨触点(3206)。

4.根据权利要求1所述的适配于无尘真空车间的微型电子巡检设备，其特征在于：所述轨道检测模块(41)包括主外壳(4106)、移动轨道(4114)、机器底板(4105)和底板边框(4109)，所述移动轨道(4114)的两侧夹持设有主驱动部件(4102)，所述主驱动部件(4102)的侧面设有辅助驱动(4103)，所述主驱动部件(4102)的另一侧设有后支撑模块(4101)，所述后支撑模块(4101)的端部设有支座连接板(4110)，所述后支撑模块(4101)和支座连接板(4110)之间设有角钢支架(4111)，所述支座连接板(4110)的侧面佘鸥底层横梁(4108)，所述支座连接板(4110)的底部设有充电触头(4107)，所述后支撑模块(4101)在主驱动部件(4102)的轴线镜像对称位置设有前支撑导向模块(4104)，所述前支撑导向模块(4104)和后支撑模块(4101)的中部空腔设有张紧弹簧(4118)，所述机器底板(4105)的顶面竖直固定设有设备隔爆壳(4117)，所述设备隔爆壳(4117)的顶部设有驱动支撑板(4116)。

5.根据权利要求1所述的适配于无尘真空车间的微型电子巡检设备，其特征在于：所述巡航检测模块(42)包括设备外壳(4201)以及和设备外壳(4201)拐角支臂端部嵌合的驱动桨(4204)，所述设备外壳(4201)的顶面中部设有设备平台(4202)，所述设备外壳(4201)的首端嵌合有前置传感器(4203)，所述设备外壳(4201)的表面侧面设有限位座(4211)，所述限位座(4211)的顶部边缘设有旋转球头(4213)，所述旋转球头(4213)的顶部固定有旋转支杆(4212)，且旋转支杆(4212)的端部设有通信模块(4205)，所述限位座(4211)的一侧开设有限位凹槽(4214)，且限位凹槽(4214)和旋转支杆(4212)之间采用过渡配合。