[发明专利]一种三氟化氮纯化用气体热解设备

权利要求书

1.一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，包括保温箱(2)、热解罐(21)和循环加热系统，所述热解罐(21)固定设置在保温箱(2)内部，所述保温箱(2)内沿竖直方向正对设置有两个承载盒(19)，所述承载盒(19)内设置有转动机构，所述热解罐(21)的侧壁上部和下部正对设置有两根L型喷管(23)，两根所述L型喷管(23)分别通过旋转接头(33)连接有连接管(9)，两个所述连接管(9)同时与第一进气管(10)连接，所述热解罐(21)的侧壁下方同时连接有第二进气管(11)，所述第一进气管(10)和第二进气管(11)同时连接在输气管路上，所述保温箱(2)上安装有电磁加热器(5)和导热油设备，所述电磁加热器(5)和导热油设备均与热解罐(21)连接。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述转动机构包括转轴(26)和驱动电机(20)，所述两个承载盒(19)内转动安装所述转轴(26)，其中一个承载盒(19)上固定安装所述驱动电机(20)，所述驱动电机(20)的输出轴与转轴(26)固定连接，两个所述转轴上均固定套接有第一齿轮(25)和第二齿轮(28)，所述旋转接头(33)上固定套接有第三齿轮(32)，距离较近的第三齿轮(32)和第一齿轮(25)之间通过第一链条(24)传动连接，两个第二齿轮(28)之间通过第二链条(27)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述第一进气管(10)和第二进气管(11)共同连接有三通接头(16)，所述三通接头(16)连接进气总管(13)，所述第一进气管(10)和第二进气管(11)上均安装有温度计(14)、压力计(15)和阀门(17)，温度计(14)和压力计(15)位于调节盒(12)内，所述温度计(14)、压力计(15)、阀门(17)和三通接头(16)均包裹在调节盒(12)内。

4.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述导热油设备包括导热油加热设备(1)、加热盘管(35)和输油泵(38)，所述导热油加热设备(1)设置在保温箱(2)上，所述导热油加热设备(1)的一端连接有导热油输送管(3)，所述导热油加热设备(1)的另一端连接有进油管(39)，所述热解罐(21)的内壁上安装加热盘管(35)，所述进油管(39)连接加热盘管(35)，所述导热油输送管(3)连接输油泵(38)，所述输油泵(38)通过回流管(37)连接加热盘管(35)。

5.根据权利要求4所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述保温箱(2)的下端面通过多个支撑腿(7)连接有底板(8)，所述底板(8)上设置有保护盒(6)，所述保护盒内设置所述输油泵(38)。

6.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述L型喷管(23)的一端穿过热解罐(21)的侧壁连接有喷气头(22)，所述L型喷管(23)的另一端与所述旋转接头(33)连接，所述L型喷管(23)与热解罐(21)的连接处设置有回转轴承和密封套，所述第二进气管(11)的一端穿过热解罐(21)且连接有进气喷头(36)。

7.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述热解罐(21)上连接有延伸至保温箱(2)外的排气管(31)，所述热解罐(21)的外侧壁上包裹有保温层(34)。

8.根据权利要求1所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述保温箱(2)的侧壁上设置有观察窗(4)。

9.根据权利要求2所述的一种三氟化氮纯化用气体热解设备，其特征在于，所述保温箱(2)内固定设置有安装架(18)，所述安装架(18)上固定安装所述承载盒(19)，所述承载盒(19)上固定连接有安装盒(30)，所述安装盒(30)内转动设置所述旋转接头(33)，所述安装盒(30)上开设有供第一链条(24)穿过的开口(29)。