[发明专利]COF载带烘烤流道及烘烤方法有效

专利信息
申请号: 202111010130.X 申请日: 2021-08-31
公开(公告)号: CN113441368B 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 蔡水河;赵昱豪 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: B05D3/04 分类号: B05D3/04;H01L21/56
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 朱丽莎
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: cof 烘烤 方法
【权利要求书】:

1.一种COF载带烘烤流道,其特征在于,包括:

两个流道组件(1),两个所述流道组件(1)均位于烘烤箱内,两个所述流道组件(1)上承载有沿第一方向输送的COF载带(2),两个所述流道组件(1)相互平行,两个所述流道组件(1)关于所述COF载带(2)对称布置,两个所述流道组件(1)之间的距离小于所述COF载带(2)的宽度,所述流道组件(1)的正投影与所述COF载带(2)的正投影存在交集,所述流道组件(1)的上表面具有多个凸起部(11),多个所述凸起部(11)沿所述第一方向均匀布置,所述COF载带(2)的下表面与多个所述凸起部(11)相接触,相邻两个所述凸起部(11)与所述COF载带(2)之间形成通道,所述通道用以供所述烘烤箱内的热风通过;

所述流道组件(1)包括:

基板(10),所述基板(10)为直板件,所述基板(10)上靠近所述COF载带(2)的部分形成为支撑区,多个所述凸起部(11)设于所述支撑区上,所述基板(10)上远离所述COF载带(2)的部分形成为导向区;

多个导向柱(12),多个所述导向柱(12)沿所述第一方向均匀设在所述导向区的上表面,所述导向柱(12)与所述COF载带(2)的一侧相抵;

所述凸起部(11)的上表面形成为圆弧面,多个所述圆弧面依次相连形成波形面,所述COF载带与所述圆弧面相切;

所述导向柱(12)包括:

上圆柱(121);

下圆柱(122),所述下圆柱(122)固定设于所述上圆柱(121)的下方,所述下圆柱(122)位于所述导向区的上方,所述下圆柱(122)的轴线平行于所述上圆柱(121)的轴线;

通孔(123),所述通孔(123)贯穿所述上圆柱(121)和所述下圆柱(122),所述通孔(123)与所述上圆柱(121)同轴设置,所述下圆柱(122)与所述通孔(123)不同轴,螺钉穿过所述通孔(123)后与所述基板(10)相连,以将所述导向柱(12)固定在所述导向区上;

所述下圆柱(122)外周面与所述通孔(123)内壁之间的最大距离小于所述上圆柱(121)外周面与所述通孔(123)内壁之间的距离。

2.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述导向柱(12)与所述凸起部(11)一一对应,所述导向柱(12)位于所述凸起部(11)的一侧。

3.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述上圆柱(121)正投影的一部分落在所述COF载带(2)上。

4.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述凸起部(11)的上表面涂覆有铁氟龙涂料。

5.一种根据权利要求1-4中任一所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法,其特征在于,包括以下步骤,

步骤一:根据COF载带(2)的宽度,适当转动导向柱(12),使下圆柱(122)的外周面与COF载带(2)的边缘相靠近,将COF载带(2)放置在两个流道组件(1)之间,COF载带(2)在凸起部(11)上输送,上圆柱(121)在COF载带(2)上方进行限位;

步骤二:设定适当的烘烤温度,将热风同时吹向COF载带(2)的上表面和下表面。

6.根据权利要求5所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法,其特征在于,所述热风的方向垂直于所述COF载带(2)所在平面,一部分热风从所述通道通过。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州欣盛半导体技术股份有限公司,未经常州欣盛半导体技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111010130.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top