[发明专利]COF载带烘烤流道及烘烤方法有效
申请号: | 202111010130.X | 申请日: | 2021-08-31 |
公开(公告)号: | CN113441368B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 蔡水河;赵昱豪 | 申请(专利权)人: | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
主分类号: | B05D3/04 | 分类号: | B05D3/04;H01L21/56 |
代理公司: | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人: | 朱丽莎 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cof 烘烤 方法 | ||
1.一种COF载带烘烤流道,其特征在于,包括:
两个流道组件(1),两个所述流道组件(1)均位于烘烤箱内,两个所述流道组件(1)上承载有沿第一方向输送的COF载带(2),两个所述流道组件(1)相互平行,两个所述流道组件(1)关于所述COF载带(2)对称布置,两个所述流道组件(1)之间的距离小于所述COF载带(2)的宽度,所述流道组件(1)的正投影与所述COF载带(2)的正投影存在交集,所述流道组件(1)的上表面具有多个凸起部(11),多个所述凸起部(11)沿所述第一方向均匀布置,所述COF载带(2)的下表面与多个所述凸起部(11)相接触,相邻两个所述凸起部(11)与所述COF载带(2)之间形成通道,所述通道用以供所述烘烤箱内的热风通过;
所述流道组件(1)包括:
基板(10),所述基板(10)为直板件,所述基板(10)上靠近所述COF载带(2)的部分形成为支撑区,多个所述凸起部(11)设于所述支撑区上,所述基板(10)上远离所述COF载带(2)的部分形成为导向区;
多个导向柱(12),多个所述导向柱(12)沿所述第一方向均匀设在所述导向区的上表面,所述导向柱(12)与所述COF载带(2)的一侧相抵;
所述凸起部(11)的上表面形成为圆弧面,多个所述圆弧面依次相连形成波形面,所述COF载带与所述圆弧面相切;
所述导向柱(12)包括:
上圆柱(121);
下圆柱(122),所述下圆柱(122)固定设于所述上圆柱(121)的下方,所述下圆柱(122)位于所述导向区的上方,所述下圆柱(122)的轴线平行于所述上圆柱(121)的轴线;
通孔(123),所述通孔(123)贯穿所述上圆柱(121)和所述下圆柱(122),所述通孔(123)与所述上圆柱(121)同轴设置,所述下圆柱(122)与所述通孔(123)不同轴,螺钉穿过所述通孔(123)后与所述基板(10)相连,以将所述导向柱(12)固定在所述导向区上;
所述下圆柱(122)外周面与所述通孔(123)内壁之间的最大距离小于所述上圆柱(121)外周面与所述通孔(123)内壁之间的距离。
2.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述导向柱(12)与所述凸起部(11)一一对应,所述导向柱(12)位于所述凸起部(11)的一侧。
3.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述上圆柱(121)正投影的一部分落在所述COF载带(2)上。
4.根据权利要求1所述的COF载带烘烤流道,其特征在于,所述凸起部(11)的上表面涂覆有铁氟龙涂料。
5.一种根据权利要求1-4中任一所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法,其特征在于,包括以下步骤,
步骤一:根据COF载带(2)的宽度,适当转动导向柱(12),使下圆柱(122)的外周面与COF载带(2)的边缘相靠近,将COF载带(2)放置在两个流道组件(1)之间,COF载带(2)在凸起部(11)上输送,上圆柱(121)在COF载带(2)上方进行限位;
步骤二:设定适当的烘烤温度,将热风同时吹向COF载带(2)的上表面和下表面。
6.根据权利要求5所述的COF载带烘烤流道的烘烤方法,其特征在于,所述热风的方向垂直于所述COF载带(2)所在平面,一部分热风从所述通道通过。
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