[发明专利]刻蚀液过滤系统、玻璃生产线及玻璃刻蚀方法在审

专利信息
申请号: 202111019913.4 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN113893594A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 段亚伟;崔海舰;李志军;安利营;史伟华 申请(专利权)人: 甘肃光轩高端装备产业有限公司;东旭科技集团有限公司
主分类号: B01D29/35 分类号: B01D29/35;B01D29/60;C03C15/00
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 岳永先;邱成杰
地址: 741000 甘肃省天水*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 刻蚀 过滤 系统 玻璃 生产线 方法
【说明书】:

发明涉及玻璃生产设备领域,公开了一种刻蚀液过滤系统、玻璃生产线及玻璃刻蚀方法,所述刻蚀液过滤系统包括壳体(17),该壳体内形成有中空腔(18)并在顶部和底部分别设有连通该中空腔(18)的刻蚀液进口(1)和刻蚀液出口(16);过滤器(6),该过滤器安装于所述中空腔(18)内并能够过滤由刻蚀液进口(1)通入的刻蚀液;以及真空泵(5),该真空泵的抽气口连通于所述中空腔(18)的位于所述过滤器(6)下侧的腔体部分,以能够通过使得该腔体部分内形成负压而促使所述刻蚀液通过所述过滤器(6)。本发明的刻蚀液过滤系统能够大大加快刻蚀液过滤速度,能够有效提高刻蚀液的过滤效率,便于提高玻璃器件的生产效率、降低生产成本。

技术领域

本发明涉及玻璃生产设备,具体地涉及一种刻蚀液过滤系统。在此基础上,本发明还涉及一种包括该刻蚀液过滤系统的玻璃生产线。此外,本发明还涉及一种玻璃刻蚀方法。

背景技术

电子玻璃的薄化是平板显示轻薄化的关键部分。作为制备超薄玻璃的常用方法,化学减薄法得到的超薄玻璃表面质量好、良品率高,其主要以氢氟酸为主成分,再加以其它辅酸形成刻蚀液,从而与玻璃表面发生化学反应,使得玻璃减薄。

化学减薄法主要的工艺方法包括浸泡法、喷淋法及瀑布流法等,每种方法采用的刻蚀液与玻璃表面发生反应后,刻蚀液中仍含有大量有效物质可以继续循环使用,降低生产成本。但是,刻蚀液与玻璃表面接触并发生化学反应,会产生絮状沉淀及其他不溶物等杂质,其中一些杂质可能会粘附在玻璃表面,导致凸点等缺陷;刻蚀液中无效产物增加还会影响刻蚀效果,导致良品率降低。因此,需对使用过的刻蚀液进行过滤处理,以便可以循环使用刻蚀液,并且不影响刻蚀效果。

现有过滤设备和方法,过滤效率低、设备复杂、占用空间大,难以满足实际应用要求,因此需设计一种高效率、简洁的刻蚀液循环过滤系统。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术存在的刻蚀液过滤效率较低问题,提供一种刻蚀液过滤系统,该刻蚀液过滤系统能够有效过滤刻蚀液中的杂质成分,便于实现刻蚀液的重复利用;且该刻蚀液过滤系统可以实现刻蚀液的高效过滤,有助于提高玻璃器件生产效率、降低生产成本。

为了实现上述目的,本发明一方面提供一种刻蚀液过滤系统,包括:壳体,该壳体内形成有中空腔并在顶部和底部分别设有连通该中空腔的刻蚀液进口和刻蚀液出口;过滤器,该过滤器安装于所述中空腔内并能够过滤由所述刻蚀液进口通入的刻蚀液;以及,真空泵,该真空泵的抽气口连通于所述中空腔的位于所述过滤器下侧的腔体部分,以能够通过使得该腔体部分内形成负压而促使所述刻蚀液通过所述过滤器。

优选地,所述中空腔内设有用于将由所述刻蚀液进口通入的所述刻蚀液引导至所述过滤器的刻蚀液分配器,该刻蚀液分配器形成有自上而下渐扩延伸的锥形通道。

优选地,所述过滤器包括过滤漏斗和贴合设置于该过滤漏斗的内表面上的过滤筛,该过滤筛设置为能够过滤由所述刻蚀液进口通入的所述刻蚀液。

优选地,所述过滤筛设置为折扇形。

优选地,所述过滤漏斗的出液管旁接有补充液组件,所述补充液组件包括设置于所述壳体外的补充液储罐、连接至该补充液储罐和所述过滤漏斗的出液管之间的补充液输送管,该补充液输送管上设有第一阀门和/或第一输送泵。

优选地,所述过滤漏斗的出液管底端设有喷淋头,该喷淋头形成有多个喷淋孔。

优选地,所述真空泵的抽气口端设有酸雾滤网。

优选地,所述中空腔的底部设有用于加热过滤后的所述刻蚀液的加热装置。

本发明第二方面提供一种包括上述刻蚀液过滤系统的玻璃器件生产线。

本发明第三方面提供一种玻璃刻蚀方法,包括:

S1.在刻蚀装置中,利用刻蚀液刻蚀玻璃;

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