[发明专利]液体喷出头和液体喷出装置

权利要求书

1.一种液体喷出头，其特征在于，包括：

振动板，具有构成与压力室连通并喷出液体的喷嘴的喷嘴开口部；

压电部，具有通过使所述振动板变形而使所述压力室的容积变化的压电体、第一电极以及第二电极，并且配置在所述振动板的一侧；

保护膜，配置在所述振动板的一侧，覆盖所述振动板的一侧和所述压电部，并且具有配置在所述喷嘴开口部的第一开口部；

疏液膜，层叠在所述保护膜的一侧，覆盖所述保护膜的所述一侧、所述第一开口部的内周面以及配置在所述第一开口部的所述振动板的一部分的所述一侧，并且具有第二开口部，所述第二开口部的直径与所述喷嘴开口部的直径相同，所述第二开口部与所述喷嘴开口部连通；以及

流路基板，配置在所述振动板的另一侧，并且具有所述压力室，

所述第一开口部的直径大于所述喷嘴开口部的直径，

所述疏液膜的层叠在所述压电部上的部位的膜厚度比层叠在所述振动板的表面上的部位的膜厚度薄。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述疏液膜的层叠在所述振动板的表面上的部位的膜厚度大于所述压电部的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷出头，其特征在于，

所述压电部形成在所述振动板的所述喷嘴的外周部的所述一侧的面上，并且构成为包围所述喷嘴的筒状，

所述第一电极配置在所述振动板的所述一侧的面上，所述压电体与所述第一电极重叠配置，所述第二电极与所述压电体重叠配置。

4.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述振动板是厚度为4μm的氧化硅膜。

5.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述喷嘴开口部是用于喷出所述液体的通孔。

6.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述保护膜的厚度为0.5μm。

7.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述液体喷出头还包括柔性布线基板，所述柔性布线基板的布线图案与所述流路基板的引出电极连接。

8.根据权利要求7所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述柔性布线基板上设置有驱动电路，所述驱动电路生成用于使所述压电部工作的控制信号和驱动信号。

9.一种液体喷出装置，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任一项所述的液体喷出头；

液体罐，容纳向所述压力室供给的液体；以及

控制部，通过对所述第一电极和第二电极中的至少一方施加电压，利用所述压电体使所述振动板变形，从而使所述压力室的容积变化。

10.根据权利要求9所述的液体喷出装置，其特征在于，

所述液体喷出装置包括清洁装置，所述清洁装置通过使擦拭构件与所述液体喷出头的液体喷出侧的面相对配置并相对移动，从而擦拭所述液体喷出头的液体喷出侧的面。